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一種形成存儲(chǔ)器件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6949876

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件的形成方法,尤其涉及。 背景技術(shù)在目前的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,集成電路產(chǎn)品主要可分為三大類型模擬電路、數(shù)字電路和數(shù)/?;旌想娐罚渲写鎯?chǔ)器件是數(shù)字電路中的一個(gè)重要類型。而在存儲(chǔ)器件中,近年來閃速存儲(chǔ)器(flash memory,簡稱閃存)的發(fā)展尤為迅速。閃存的主要特點(diǎn)是在不加電的情況下能長期保持存儲(chǔ)的信息;且具有集成度高、存取速度快、易于擦除和重寫等優(yōu)點(diǎn),因而在微機(jī)、自動(dòng)化控制等多項(xiàng)領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。閃存中的分離柵存儲(chǔ)器具有很多優(yōu)點(diǎn),例...
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