技術編號：6939391
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于一種遮擋框(shadow frame)及其制作方法，特別是有關一種用于光 電半導體工藝中將玻璃基板固定的。背景技術在光電半導體工藝中，在玻璃基板上制作電子電路器件時，需要先通過遮擋框將 玻璃基板固定，以免玻璃基板受到擾動而影響工藝順利進行。請參閱附圖1所示是等離子體輔助化學氣相沉積(Plasma-EnhancedChemical Vapor Deposition,PECVD)機臺1的結構示意圖。在PECVD機臺1中，擴散板(diffuser) ...
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