技術(shù)編號(hào)：6904480
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法，更具體地，涉及一 種具有快速頻率并爭(zhēng)斗生(fast frequency characteristic )的金屬畫(huà)絕纟彖體-金屬(MIM)電容器及其制造方法。背景技術(shù)近來(lái)用于半導(dǎo)體器件的高度集成技術(shù)引起對(duì)其中集成了模擬 電容器與邏輯電路的半導(dǎo)體器件的研究和發(fā)展。目前，可以獲得這 種產(chǎn)品。對(duì)于在互補(bǔ)金屬氧化硅(CMOS)邏輯部件中使用的模擬 電容器而言，其可以采用多晶硅-絕緣體-多晶硅(PIP)或金屬-絕 纟彖體-金屬(M...
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