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背部照明圖像傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6902465

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本發(fā)明涉及一種。技術(shù)背景圖像傳感器是一種將光學圖像轉(zhuǎn)換成電信號的半導體器件。圖像傳感器一般被劃分為電荷耦合器件(CCD)圖像傳感器或互補型金屬氧化物半導體 (CMOS)圖像傳感器(CIS)。在現(xiàn)有技術(shù)的圖像傳感器中,采用離子注入在襯底中形成光電二極管。 由于為了在不增加芯片尺寸的情況下增加像素的數(shù)目,光電二極管的尺寸越 來越減小,所以光接收部分的面積也減小,使得圖像質(zhì)量降低。此外,因為堆疊高度減少不像光接收部分的面積一樣減少的那么多,所 以由于稱為艾里斑(...
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