技術(shù)編號：6901301
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種收納、搬送電子部件的搬送框架和電子部件的制 造方法，尤其涉及一種在電子部件的制造工序中，搬送光學(xué)部件或半 導(dǎo)體裝置等電子部件時(shí)使用的搬送框架、和使用該搬送框架的電子部 件的制造方法。背景技術(shù)在制造電子部件的工序中，為了方便從某個(gè)工序使用的制造裝置 向下一個(gè)工序使用的制造裝置搬送部件，或者在某個(gè)工序使用的1個(gè) 制造裝置內(nèi)搬送或投入、排出部件等，使用搬送框架。以往，在搬送 框架的支承板上形成的多個(gè)凹狀凹部內(nèi)分別收納電子部件，將收納該 電子部件的搬...
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