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具有受吸氣層保護的氫退化介電層的集成電容器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6899208

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本發(fā)明總體涉及集成電路,尤其涉及存儲器件,其結(jié)構(gòu)中包括具有鐵電特征和/或高介電常數(shù)的電容耦合介電層,在兩種情形中,該存儲器件利用如下特征鐵電氧化物的剩余極性或貫穿介電氧化物的電容耦合,用來以電荷的形式存儲信息。背景技術(shù) 基于具有鐵電特性的混合氧化物或等效化合物的鐵電,尤其是介電化合物是用于不同領(lǐng)域,尤其是用于在半導(dǎo)體或介電襯底上制造集成結(jié)構(gòu)中的材料。這些材料的應(yīng)用有下面這些例子壓電濾波器、具有壓電特性的超聲換能器、紅外換能器、具有熱電特性的光學(xué)傳感器、光調(diào)...
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