技術(shù)編號(hào)：6869120
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于預(yù)金屬和/或淺槽隔離應(yīng)用中所用的旋涂介電材料的uv固化方法相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)涉及提交于2004年6月7日的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)60/577,679且 要求對(duì)其的優(yōu)先權(quán)，在此全文引入該申請(qǐng)作為參考。背景本發(fā)明一般來說涉及半導(dǎo)體器件中的介電薄膜，更具體地，涉及用 于予貞金屬(pre-metal)和淺沖曹隔離(shallow trench isolation)應(yīng)用的S走〉'余 (spin-on)低k介電薄膜的紫外(UV)固化方法。在先進(jìn)的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，器件...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。