技術(shù)編號(hào)：6867858
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。及先有技術(shù)諧振電子遷移結(jié)構(gòu)通常利用了通過(guò)交替具有不同物理性質(zhì)的層而獲得的幾何結(jié)構(gòu)。例如對(duì)于二維結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)沿著垂直于試樣的方向進(jìn)行層生長(zhǎng)或?qū)拥倪B續(xù)處理或?qū)舆w移來(lái)獲得這些層，沿著一維線型結(jié)構(gòu)也一樣。對(duì)于任何隧道二極管族來(lái)說(shuō)就是如此，此隧道二極管利用了電子帶之間的躍遷或隧道結(jié)之間的諧振。在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，此種結(jié)構(gòu)通過(guò)其禁遷移帶寬度采用互不相同的材料。但是，這些方法也會(huì)導(dǎo)致界面的產(chǎn)生，以及不受控的結(jié)構(gòu)不完美性或不均勻性，這是由于用于產(chǎn)生這類(lèi)部件的光刻和蝕刻技術(shù)引起了缺...
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