技術(shù)編號(hào)：6851524
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體制造。 背景技術(shù)“光掩模”是集成電路芯片制造中用于批量印刷電路的模版。通過光刻工藝，將光掩模上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。因此光掩模上的任何缺陷都會(huì)對(duì)芯片的成品率造成很大的影響。目前先進(jìn)的光掩模清洗工藝是將光掩模放置在沖洗槽內(nèi)，沖洗槽采用內(nèi)槽體和外槽體相結(jié)合的結(jié)構(gòu)，將可移動(dòng)托架的托盤設(shè)置在內(nèi)槽體內(nèi)而形成淺槽結(jié)構(gòu)，托架的托座穿過內(nèi)槽體與支座連接，清洗時(shí)，只需將光掩模平放在托盤內(nèi)，在托盤壓接在內(nèi)槽體上呈...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。