專利名稱：裝卡光掩模的主動卡爪機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種裝卡光掩模的主動卡爪機構，屬于半導體制造技術領域。
背景技術：
“光掩?！笔羌呻娐沸酒圃熘杏糜谂坑∷㈦娐返哪０妗Ｍㄟ^光刻工藝，將光掩模上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。因此光掩模上的任何缺陷都會對芯片的成品率造成很大的影響。目前先進的光掩模清洗工藝是將光掩模放置在沖洗槽內(nèi)，沖洗槽采用內(nèi)槽體和外槽體相結合的結構，將可移動托架的托盤設置在內(nèi)槽體內(nèi)而形成淺槽結構，托架的托座穿過內(nèi)槽體與支座連接，清洗時，只需將光掩模平放在托盤內(nèi)，在托盤壓接在內(nèi)槽體上呈密封狀況時，使光掩模橫置浸沒在藥液中，以去除光掩模表面的光刻膠，當托架上移動時，使托架的托盤與內(nèi)槽體脫離，將藥液從內(nèi)槽體排置外槽體內(nèi)通過排液流道排出，通過設置在外槽體和托架上的噴嘴實現(xiàn)噴淋沖清，達到對光掩模進行清洗的效果。目前公開一些自動抓取光掩模的裝置，體積較大，無法在清洗槽內(nèi)進行水平抓取、放置以及翻轉，而不能應用于上述的清洗工藝，如采用人工放置和拾取光掩模，不僅影響清洗效率，而且也影響清洗效
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發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種結構合理，安裝調試方便，能控制光掩模翻轉角度的裝卡光掩模的主動卡爪機構。本實用新型為達上述目的的技術方案是一種裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于包括支承座、擺動氣缸、具有卡口的主動卡爪、主動軸套以及漲套和主動轉盤，擺動氣缸安裝在支承座上，主動轉盤通過主動軸套安裝在支承座上并與擺動氣缸的轉子連接， 主動卡爪通過漲套與主動轉盤連接，支承座或/和擺動氣缸上安裝有控制擺動角度的角度傳感器，或支承座或/和擺動氣缸上安裝有檢測擺動角度的接近開關。本實用新型主動卡爪機構采用安裝在支承座上的主動轉套以及主動轉盤和主動卡爪，而主動卡爪通過漲套與主動轉盤上，通過主動轉盤與擺動氣缸的轉子連接，結構緊湊合理，安裝調試非常方便，更換不同型號的主動卡爪非常方便。本實用新型在支承座或/和擺動氣缸安裝有控制擺動角度的角度傳感器，通過角度傳感器控制擺動氣缸翻轉角度，控制方便，提高了放置和抓取光掩模以及對光掩模翻轉的可靠和準確性，實現(xiàn)自動裝卡光掩模而提高光掩模清洗效率和清洗效果，能滿足不同尺寸光掩模的裝夾和翻轉要求。
以下結合附圖對本實用新型的實施例作進一步的詳細描述。

圖1是本實用新型主動卡爪機構的結構示意圖。圖2是本實用新型主動卡爪機構的爆炸結構示意圖。[0010]圖3是本實用新型主動卡爪機構安裝在工作臺上的結構示意圖。其中1-卡爪，1-1-卡口，2-外套，3-連接軸，3-1-凸軸，4_漲套，5_平面軸承， 6-主動軸套，7-緊釘螺釘，8-彈簧，9-滾珠，10-接盤，11-擺動氣缸，12-角度傳感器，13-主動轉盤，14-油槽，15-卡簧，16-支承座，17-被動卡爪機構，18-光掩模，19-工作臺。
具體實施方式
見圖1 3所示，本實用新型的裝卡光掩模的主動卡爪機構，包括支承座16、擺動氣缸11、具有卡口的主動卡爪、主動軸套6以及漲套4和主動轉盤13，擺動氣缸11安裝在支承座16上，主動轉盤13通過主動軸套6安裝在支承座16上并與擺動氣缸11的轉子連接。 主動卡爪機構與被動卡爪機構17安裝在工作臺19上并對角設置，支承座16安裝在托板上隨滑塊沿直線導軌上移動，抓緊拾取光掩模18或松開光掩模18并放置在托盤上。見圖1、 2所示，本實用新型主動軸套6呈T形，主動軸套6的T形端通過緊固件與支承座16連接， 另一端由安裝在主動轉盤13上的卡簧15限位，主動轉盤13通過接盤10與擺動氣缸11的轉子連接，主動轉盤13與接盤10可采用鍵連接，或采用卡接式連接，平面軸承5設置在主動轉盤13的軸承座內(nèi)并頂在主動軸套6的T形端面，主動轉盤13或主動軸套6上設有油槽14，故能使主動轉盤13轉動平穩(wěn)、靈活。見圖1所示，本實用新型主動轉盤13上至少設有兩個定位孔，主動軸套6上設有滾珠孔，安裝在支承座16上的緊釘螺釘7通過彈簧8將設置在主動軸套6上的滾珠9頂在主動轉盤13的定位槽內(nèi)，當擺動氣缸11帶動主動轉盤 13翻轉到所需角度后，通過滾珠9對主動轉盤13鎖定，而提高操作的準確性。見圖1、2所示，本實用新型的主動卡爪通過漲套4與主動轉盤13連接，故具有調試方便的特點，主動卡爪由連接軸3和卡爪1構成，卡爪1上設有卡口 1-1，卡爪1上的卡口 1-1采用V形槽或U形槽，方便卡接在光掩模18上，卡爪1通過緊固件與連接軸3連接，連接軸3內(nèi)側的凸軸3-1與漲套4連接，主動轉盤13上設有螺孔，定位螺釘安裝在主動轉盤 13上并頂在漲套4上，使?jié)q套4與連接軸3可靠連接，以帶動主動卡爪轉動，而外側具有插槽的外套2套裝在連接軸3和卡爪1上。見圖1、2所示，本實用新型的支承座16或/和擺動氣缸11上安裝有檢測擺動角度的角度傳感器12，或支承座16或/和擺動氣缸11上安裝有檢測擺動角度的接近開關，通過角度傳感器12檢測擺動氣缸11的轉子的擺動角度，滿足光掩模18的翻轉要求，本實用新型的角度傳感器12可采用角位移傳感器等。見圖1、3所示，本實用新型工作時，主動卡爪機構和被動卡爪機構在托板的帶動下向光掩模方向移動，使卡爪1和被動卡爪抓住光掩模18，再通過主動卡爪機構上的擺動氣缸11帶動夾爪1轉動，同時被動卡爪隨夾爪1 一起轉動，直到角度傳感器12檢測卡爪1 翻轉到所需角度。當卡爪1翻轉到位后，角度傳感器12發(fā)出信號使擺動氣體停止翻轉，而當主動卡爪翻轉沒有到位時，角度傳感器12不發(fā)出信號而繼續(xù)翻轉直到所控制的翻轉角度發(fā)出信號。
權利要求1.一種裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于包括支承座(16)、擺動氣缸(11)、具有卡口的主動卡爪、主動軸套(6)以及漲套(4)和主動轉盤(13)，擺動氣缸(11)安裝在支承座(16)上，主動轉盤(1 通過主動軸套(6)安裝在支承座(16)上并與擺動氣缸(11)的轉子連接，主動卡爪通過漲套(4)與主動轉盤(1 連接，支承座(16)或/和擺動氣缸(11) 上安裝有檢測擺動角度的角度傳感器(1 ，或支承座(16)或/和擺動氣缸(11)上安裝有檢測擺動角度的接近開關。
2.根據(jù)權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于所述的主動軸套 (6)呈T形，主動軸套(6)的T形端通過緊固件與支承座(16)連接，另一端由安裝在主動轉盤(1 上的卡簧(1 限位，主動轉盤(1 通過接盤(10)與擺動氣缸(11)的轉子連接， 平面軸承( 設置在主動轉盤(1 的軸承座內(nèi)并頂在主動軸套(6)的T形端面，主動轉盤 (13)或主動軸套(6)上設有油槽(14)。
3.根據(jù)權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于所述的主動卡爪由連接軸C3)和卡爪(1)構成，卡爪(1)上設有卡口(1-1)，卡爪(1)通過緊固件與連接軸 (3)連接，連接軸(3)內(nèi)側的凸軸(3-1)與漲套(4)連接，外側具有插槽的外套( 套裝在連接軸⑶和卡爪⑴上。
4.根據(jù)權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于所述的主動轉盤 (13)上至少設有兩個定位孔，主動軸套(6)上設有滾珠孔，安裝在支承座(16)上的緊釘螺釘(7)通過彈簧(8)將設置在主動軸套(6)上的滾珠(9)頂在主動轉盤(13)的定位槽內(nèi)。
5.根據(jù)權利要求1所述的裝卡光掩模的主動卡爪機構，其特征在于所述主動轉盤 (13)上設有螺孔，定位螺釘安裝在主動轉盤(1 上并頂在漲套(4)上。
專利摘要本實用新型涉及一種裝卡光掩模的主動卡爪機構，包括支承座、擺動氣缸、具有卡口的主動卡爪、主動軸套以及漲套和主動轉盤，擺動氣缸安裝在支承座上，主動轉盤通過主動軸套安裝在支承座上并與擺動氣缸的轉子連接，主動卡爪通過漲套與主動轉盤連接，支承座或/和擺動氣缸安裝有控制擺動角度的角度傳感器。本實用新型具有結構合理，安裝調試方便，能控制光掩模翻轉角度的特點。
文檔編號H01L21/67GK202049929SQ201120171908
公開日2011年11月23日 申請日期2011年5月26日 優(yōu)先權日2011年5月26日
發(fā)明者吉保國, 梅琳 申請人:常州瑞擇微電子科技有限公司