技術編號：6818311
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑組合物。 背景技術光致抗蝕劑組合物是用于采用光刻技術工藝的半導體微組裝 (microfabrication)光致抗蝕劑組合物。US 2008/0166660A1公開了一種包含如下組分的光致抗蝕劑一種樹脂，其具有 由甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷酯衍生的結構單元、由甲基丙烯酸3-羥基-1-金剛烷酯衍 生的結構單元、由甲基丙烯酸2-(5-氧代-4-氧雜三環(huán)[4. 2. LO3'7]壬烷-2-基氧基)-2-氧 代乙酯衍生的結構單元、以及由...
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