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大視場光敏接收器的制作方法技術資料下載

技術編號:6804186

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本實用新型屬于半導體中用于大視場范圍的一種光敏接收器?,F(xiàn)有的硅光敏接收器是在平面的硅襯底上用半導體平面工藝技術制作成平面形的PN結,這種器件如果不附加其它的光學系統(tǒng),則它的視場角很小,它的視場角最大只有±45℃,它不能滿足測量動態(tài)發(fā)光體空間位置的需要。本實用新型的目的是解決光敏器件視場角小的問題,滿足測量動態(tài)發(fā)光體空間位置的需要。本實用新型如附圖說明圖1和圖2所示半導體襯底(4)上形成雜質擴散層(3)構成PN結,在PN結的兩面制作上電極(2)和(5),非光...
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