專(zhuān)利名稱(chēng)：大視場(chǎng)光敏接收器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中用于大視場(chǎng)范圍的一種光敏接收器。
現(xiàn)有的硅光敏接收器是在平面的硅襯底上用半導(dǎo)體平面工藝技術(shù)制作成平面形的PN結(jié)，這種器件如果不附加其它的光學(xué)系統(tǒng)，則它的視場(chǎng)角很小，它的視場(chǎng)角最大只有±45℃，它不能滿(mǎn)足測(cè)量動(dòng)態(tài)發(fā)光體空間位置的需要。
本實(shí)用新型的目的是解決光敏器件視場(chǎng)角小的問(wèn)題，滿(mǎn)足測(cè)量動(dòng)態(tài)發(fā)光體空間位置的需要。
本實(shí)用新型如

圖1和圖2所示半導(dǎo)體襯底(4)上形成雜質(zhì)擴(kuò)散層(3)構(gòu)成PN結(jié)，在PN結(jié)的兩面制作上電極(2)和(5)，非光敏區(qū)用二氧化硅層(1)做PN結(jié)的保護(hù)，本實(shí)用新型的特點(diǎn)是采用柱面形或者球面形的半導(dǎo)體襯底(4)，形成柱面形或者球面形的PN結(jié)。當(dāng)一定波長(zhǎng)的光入射到接收器的光敏面時(shí)，就在外路形成光電流。
本實(shí)用新型由于半導(dǎo)體襯底采用柱面形和球面形，則接收器的光敏面是柱面形或球面形，所以不用附加其它的光學(xué)系統(tǒng)，接收器就具有很大的視場(chǎng)角，從而滿(mǎn)足了測(cè)量動(dòng)態(tài)發(fā)光體的空間位置的需要。
本實(shí)用新型的最佳實(shí)施例如圖1所示首先把半導(dǎo)體材料加工成圓桶形的襯底(4)。如圖2所示首先把半導(dǎo)體材料加工成球面形的襯底的襯底(4)，然后在襯底(4)上做成PN結(jié)，在PN結(jié)兩面形成歐姆接觸并且做上電極2和5的外引線，半導(dǎo)體襯底(4)可選用硅單晶、砷化鎵、鍺等材料。
圖1是本實(shí)用新型柱面形光敏接收器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型球面形光敏接收器的結(jié)構(gòu)示意圖。
權(quán)利要求1.一種屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中用于大視場(chǎng)范圍的光敏接收器，采用在半導(dǎo)體襯底(4)上形成雜質(zhì)擴(kuò)散層(3)構(gòu)成PN結(jié)，在PN結(jié)的兩面制作上電極(2)和(5)，非光敏區(qū)用二氧化硅層(1)做PN結(jié)的保護(hù)，其特征在于采用柱面形或者球面形的半導(dǎo)體襯底(4)，在襯底(4)上形成柱面形或者球面形的PN結(jié)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中用于大視場(chǎng)范圍的一種光敏接收器，解決光敏器件視場(chǎng)角小的問(wèn)題，它是采用柱面形或者球面形的半導(dǎo)體襯底(4)，在襯底(4)上形成雜質(zhì)擴(kuò)散層(3)構(gòu)成柱面形或者球面形的PN結(jié)，在PN結(jié)的兩面制作上電極(2)和(5)，非光敏區(qū)用二氧化硅層(1)做PN結(jié)的保護(hù)，本實(shí)用新型構(gòu)成了具有柱面形或者球面形的光敏接收器，可用于用于大視場(chǎng)角的測(cè)量系統(tǒng)。
文檔編號(hào)H01L31/10GK2158578SQ92245768
公開(kāi)日1994年3月9日 申請(qǐng)日期1992年12月29日 優(yōu)先權(quán)日1992年12月29日
發(fā)明者丁振芳, 王志強(qiáng), 李哲 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所