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技術(shù)編號(hào)：6789731

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種低電容超深溝槽瞬變電壓抑制(Transient Voltage Suppressors, TVS) 二極管結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)集成電路線寬尺寸的不斷縮小要求電子器件的工作電壓不斷降低，同時(shí)也導(dǎo)致電路中以靜電放電(Electro-Static discharge, ESD)或其他形式存在的瞬態(tài)電壓更容易對(duì)電子器件造成破壞。TVS是一種基于二極管形式的保護(hù)器件，用來(lái)保護(hù)系統(tǒng)免于遭受各種形式的瞬態(tài)高壓的沖擊，其工作原理如圖1所示，TVS ...
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