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一種sem用氨氣報警裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6710952

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本實用新型所述的一種SEM用氨氣報警裝置,包括機械泵、機械泵罩、抽風(fēng)機、報警器和氨氣濃度感應(yīng)器、排氣管、導(dǎo)線。機械泵上套有機械泵罩;氨氣濃度感應(yīng)器在機械泵罩內(nèi)壁;報警器與氨氣濃度感應(yīng)器連接;抽風(fēng)機與報警器用過導(dǎo)線連接;抽風(fēng)機通過排氣管與機械泵罩連接。當(dāng)氨氣濃度達(dá)到25-50ppm時,氨氣濃度感應(yīng)器自動感應(yīng),將信號傳遞給報警器,報警器發(fā)出警報,自動控制抽風(fēng)機將掃描電鏡產(chǎn)生的氨氣抽出室內(nèi)。專利說明一種SEM用氨氣報警裝置[0001]本實用新型涉及一種SEM用氨...
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