一種sem用氨氣報警裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型所述的一種SEM用氨氣報警裝置,包括機械泵、機械泵罩、抽風(fēng)機、報警器和氨氣濃度感應(yīng)器、排氣管、導(dǎo)線。機械泵上套有機械泵罩；氨氣濃度感應(yīng)器在機械泵罩內(nèi)壁；報警器與氨氣濃度感應(yīng)器連接；抽風(fēng)機與報警器用過導(dǎo)線連接；抽風(fēng)機通過排氣管與機械泵罩連接。當氨氣濃度達到25-50ppm時，氨氣濃度感應(yīng)器自動感應(yīng)，將信號傳遞給報警器，報警器發(fā)出警報，自動控制抽風(fēng)機將掃描電鏡產(chǎn)生的氨氣抽出室內(nèi)。
【專利說明】一種SEM用氨氣報警裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種SEM用氨氣報警裝置，尤其涉及一種真空機械泵氨氣排放與實驗室安全領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在掃描電子顯微鏡工作時，產(chǎn)生多種廢氣，有氨氣等，真空泵抽出的氨氣只是簡單的濾芯過濾就排出泵外，擴散到實驗室中，濃度過高時危害操作人員的身體健康，或者破壞實驗室內(nèi)氣氛平衡狀態(tài)，給實驗造成影響。針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實用新型提供了一種小型的SEM用氨氣報警裝置，該裝置能將掃描電鏡產(chǎn)生的氨氣及時排出實驗室，有效防止氨氣危害操作人員身體健康和破壞實驗室內(nèi)氣氛平衡狀態(tài)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型所述的一種SEM用氨氣報警裝置，包括機械泵、機械泵罩、抽風(fēng)機、報警器和氨氣濃度感應(yīng)器、排氣管、導(dǎo)線。機械泵上套有機械泵罩；氨氣濃度感應(yīng)器在機械泵罩內(nèi)壁；報警器與氨氣濃度感應(yīng)器連接；抽風(fēng)機與報警器用導(dǎo)線連接；抽風(fēng)機通過排氣管與機械泵罩連接。當氨氣濃度達到25-50ppm時，氨氣濃度感應(yīng)器自動感應(yīng)，將信號傳遞給報警器，報警器發(fā)出警報，自動控制抽風(fēng)機將掃描電鏡產(chǎn)生的氨氣抽出室內(nèi)。
[0004]本實用新型的有益效果是:該裝置自動感應(yīng)，結(jié)構(gòu)簡單，而且成本低廉、實用性強，極大減小了氨氣對人體的危害。
[0005]【專利附圖】

【附圖說明】:
[0006]圖1為本實用新型【具體實施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0007]I是機械泵，2是機械泵罩，3是氨氣濃度感應(yīng)器，4是報警器，5是抽風(fēng)機，6是排氣管，7是導(dǎo)線。
[0008]【具體實施方式】:
[0009]如圖所示，機械泵上套有機械泵罩；氨氣濃度感應(yīng)器在機械泵罩內(nèi)壁；報警器與氨氣濃度感應(yīng)器連接；抽風(fēng)機與報警器用導(dǎo)線連接；抽風(fēng)機通過排氣管與機械泵罩連接。當氨氣濃度達到25-50ppm時，氨氣濃度感應(yīng)器自動感應(yīng)，將信號傳遞給報警器，報警器發(fā)出警報，自動控制抽風(fēng)機將掃描電鏡產(chǎn)生的氨氣抽出室內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種SEM用氨氣報警裝置，包括機械泵、機械泵罩、抽風(fēng)機、報警器和氨氣濃度感應(yīng)器、排氣管、導(dǎo)線，其特征是:機械泵上套有機械泵罩；氨氣濃度感應(yīng)器在機械泵罩內(nèi)壁；報警器與氨氣濃度感應(yīng)器連接；抽風(fēng)機與報警器用導(dǎo)線連接；抽風(fēng)機通過排氣管與機械泵罩連接。
【文檔編號】G08B21/12GK203562075SQ201320641087
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月17日
【發(fā)明者】王志剛, 劉煥剛, 梁棟, 石磊 申請人:山東建筑大學(xué), 王志剛, 劉煥剛