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一種多晶硅鑄錠工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3751823

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本發(fā)明涉及多晶硅鑄錠,特別涉及一種多晶硅鑄錠工藝。背景技術(shù)光伏太陽能用多晶硅鑄錠領(lǐng)域,在鑄造多晶硅時(shí)使用石英陶瓷坩堝為硅料承載模具,將高純多晶硅原料裝在帶氮化硅涂層的坩堝內(nèi),經(jīng)過在鑄錠爐內(nèi)加熱、熔化、定向結(jié)晶、退火、冷卻五個(gè)工藝過程,最終使高純多晶硅料生長成用于生產(chǎn)太陽能電池用的多晶硅錠。坩堝內(nèi)表面涂層氮化硅的目的主要是保護(hù)石英坩堝(主要成分為二氧化硅)在高溫下與硅的隔離,阻止鑄錠工藝中二氧化硅與硅液反應(yīng),防止污染高純硅液,同時(shí)保證硅液結(jié)晶后不與坩堝發(fā)生粘...
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