技術(shù)編號(hào)：6184017
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及超純砷烷的分析方法及裝置，首先，取樣采用負(fù)壓進(jìn)樣、靜態(tài)分析方式，通過分子泵機(jī)組將定量管抽空至1×10-4～1×10-7Pa，并伴隨氦氣吹掃、負(fù)壓置換，將氧、氮真空本底降至10ppb以下，然后將超純砷烷充入定量管至零表壓進(jìn)樣分析；然后，分離痕量雜質(zhì)將上述取樣后的待測(cè)樣品氣用20～50mL/min流速的載氣送入經(jīng)防腐防吸附處理過的分離系統(tǒng)進(jìn)行分離痕量雜質(zhì)；最后，檢測(cè)將上述經(jīng)過分離痕量雜質(zhì)的待測(cè)樣品氣輸入檢測(cè)器得出分析結(jié)果。超純砷烷中的痕量雜質(zhì)得以分離...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。