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平面化的三維磁感測芯片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6168481

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本發(fā)明公開了一種平面化的三維磁感測芯片,包含設(shè)置于電路芯片基板上的第一磁傳感器、第二磁傳感器、第三磁傳感器及磁束偏折集中結(jié)構(gòu),第一磁傳感器與第二磁傳感器共同量測磁通量在第一方向及第三方向的分量,第三磁傳感器量測磁通量在第二方向的分量,磁束偏折集中結(jié)構(gòu)將磁通量在第三方向的分量偏折至第一方向,而使第一磁傳感器及第二磁傳感器在第一方向上量測磁通量第三方向的分量,磁束偏折集中結(jié)構(gòu)與其它磁感應(yīng)器以半導(dǎo)體制程完成,不需兩段式裝設(shè)第三方向的磁傳感器,大幅提高了產(chǎn)率及良率...
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