技術(shù)編號:6168481
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種平面化的三維磁感測芯片,包含設(shè)置于電路芯片基板上的第一磁傳感器、第二磁傳感器、第三磁傳感器及磁束偏折集中結(jié)構(gòu),第一磁傳感器與第二磁傳感器共同量測磁通量在第一方向及第三方向的分量,第三磁傳感器量測磁通量在第二方向的分量,磁束偏折集中結(jié)構(gòu)將磁通量在第三方向的分量偏折至第一方向,而使第一磁傳感器及第二磁傳感器在第一方向上量測磁通量第三方向的分量,磁束偏折集中結(jié)構(gòu)與其它磁感應(yīng)器以半導(dǎo)體制程完成,不需兩段式裝設(shè)第三方向的磁傳感器,大幅提高了產(chǎn)率及良率...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。