技術編號：6164929
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種汽車壓力傳感器，特別涉及一種用MEMS技術研制的體積小、重量輕、響應快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、低成本的機油壓力傳感器。背景技術汽車傳感器作為汽車電子控制系統(tǒng)的信息源，是汽車電子控制系統(tǒng)的關鍵部件，也是汽車電子研究的核心內容之一。汽車傳感器對溫度、壓力、位置、轉速、加速度和振動等各種信息進行實時、準確的測量和控制。衡量現(xiàn)代高級轎車控制系統(tǒng)水平的關鍵就在于其傳感器的數(shù)量和水平。從半導體集成電路技術發(fā)展而來的微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術日漸...
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