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技術(shù)編號(hào)：6125011

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本發(fā)明是一種應(yīng)用于，屬于慣性導(dǎo)航領(lǐng)域。背景技術(shù) 慣性技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重要標(biāo)志是慣性傳感器的發(fā)展，主要體現(xiàn)在測(cè)量原理、器件精度和加工工藝方面。新型的低成本、微型IMU中，有代表性和發(fā)展前途的是微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)IMU，它是當(dāng)代微電子技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物，也是下一代IMU的典型代表。MEMS慣性傳感器是慣性器件的一個(gè)大種類，以其制造采用集成電路的加工工藝而明確地區(qū)別與其它慣性器件。隨著MEMS慣性...
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