技術(shù)編號：6110239
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種具有斜拉懸梁支撐膜結(jié)構(gòu)的新的微機械熱電堆紅外探測器陣列及制造方法。屬于紅外探測器領(lǐng)域。背景技術(shù) 紅外探測器的應(yīng)用十分廣泛，用于軍事用途，有紅外成像、紅外偵察、紅外跟蹤、紅外制導(dǎo)、紅外預(yù)警和紅外對抗等；在民用中，有紅外測溫、紅外測濕、紅外理療、紅外檢測、紅外遙感、紅外報警等。按探測器工作機理區(qū)分，紅外探測器可分為熱探測器與光子探測器兩大類。與光子探測器相比，熱探測器具有廣譜響應(yīng)、低成本、易操作以及對環(huán)境溫度不敏感等優(yōu)點，但響應(yīng)時間較慢。因此在氣...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。