技術(shù)編號(hào):6033743
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種掃描探針顯微鏡中的掃描器,特別是有關(guān)于掃描探針 顯微鏡中所用的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器。背景技術(shù)掃描器是掃描探針顯微鏡(SPM)的重要部件,它是掃描探針顯微鏡中的執(zhí) 行器件,負(fù)責(zé)完成樣品XYZ方向的精密移動(dòng),它一般是由管狀PZT壓電陶瓷作 為掃描元件(俗稱為掃描管),掃描管是由五個(gè)電極組成,分別是X+, X-, Y+, Y-, Z電極,施加特定電壓在五個(gè)電極上即可實(shí)現(xiàn)XYZ三個(gè)方向上的運(yùn)動(dòng)。傳統(tǒng) 的掃描器制作工藝一般是將掃...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。