專利名稱：用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種掃描探針顯微鏡中的掃描器，特別是有關(guān)于掃描探針 顯微鏡中所用的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器。
背景技術(shù)：
掃描器是掃描探針顯微鏡(SPM)的重要部件，它是掃描探針顯微鏡中的執(zhí) 行器件，負(fù)責(zé)完成樣品XYZ方向的精密移動(dòng)，它一般是由管狀PZT壓電陶瓷作 為掃描元件(俗稱為掃描管)，掃描管是由五個(gè)電極組成，分別是X+， X-， Y+, Y-， Z電極，施加特定電壓在五個(gè)電極上即可實(shí)現(xiàn)XYZ三個(gè)方向上的運(yùn)動(dòng)。傳統(tǒng) 的掃描器制作工藝一般是將掃描管安裝于掃描殼體中，只固定一端，另一端作 為掃描端放置樣品，組成掃描器。這種掃描器制作的固定端一般使用膠水固定 粘接的工藝，工藝較為復(fù)雜，制作掃描器的耗時(shí)也較長(zhǎng)，并且一旦安裝完成后 發(fā)現(xiàn)掃描管引起的掃描器工作不正常，則整個(gè)掃描器就要報(bào)廢。為避免上述情 況發(fā)生， 一般在制作掃描器前首先對(duì)掃描管的電壓位移特性進(jìn)行測(cè)試。壓電位 移測(cè)試方式如果使用非SPM測(cè)量的話，需要邁克爾遜干涉儀等測(cè)量?jī)x器，這類 儀器價(jià)格昂貴，測(cè)試復(fù)雜，且耗時(shí)費(fèi)力。而制作成常規(guī)掃描器后，用SPM測(cè)量 則往往引入其他不確定的因素如制作工藝，而且本身制作掃描器的成本也非常 高，耗時(shí)長(zhǎng)。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸 式掃描器，該款掃描器能夠方便地安裝和拆卸多種尺寸規(guī)格的壓電掃描管，降 低掃描器的生產(chǎn)成本。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆 卸式掃描器，其實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)在于，其包括 一掃描臺(tái)、掃描器殼體和底座，四 個(gè)壓簧設(shè)于該掃描器殼體， 一個(gè)壓簧設(shè)于該底座，連接線一端連接到該些壓簧上， 一掃描管一端;^文置在該掃描臺(tái)上且其另一端安裝于該底座上。 優(yōu)選地，所述底座主體部分是一個(gè)圓柱體且橫截面是梯形。 優(yōu)選地，所述底座為可拆卸式。
優(yōu)選地，所述掃描器殼體上有一凸緣形成的安裝平臺(tái)，該安裝平臺(tái)安裝到 掃描探針顯微鏡上。
優(yōu)選地，所述壓簧對(duì)應(yīng)設(shè)置一固定螺栓，該固定螺栓穿過(guò)掃描器殼體。 優(yōu)選地，所述掃描管的內(nèi)壁插在底座上并與金屬壓簧接觸。
本實(shí)用新型由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下 的優(yōu)點(diǎn)和積極效果本實(shí)用新型掃描器殼體采用絕緣材料加工，具有良好的電 絕緣性能?？刹鹦兜鬃c殼體連接是緊密配合，保證一定的強(qiáng)度，且又方便分 離、拆卸。本實(shí)用新型掃描器最大的特點(diǎn)就是掃描管的固定采用可拆卸式固定， 而電信號(hào)的連接則采用金屬壓簧片連接。掃描管通過(guò)壓簧緊固的方式被牢固地 固定在掃描器上，同時(shí)又可以方便地拆卸。無(wú)損傷的機(jī)械連接方式和電連接方 式保證了壓電掃描管的無(wú)損傷測(cè)試。同時(shí)，本掃描器可以適用不同長(zhǎng)度和不同 內(nèi)外徑的掃描管，擴(kuò)大了它的測(cè)試范圍。本實(shí)用新型掃描器可以完成掃描管的 實(shí)際電壓位移特性的測(cè)試，該掃描器能夠方便的安裝和拆卸多種尺寸規(guī)格的壓 電掃描管，并且對(duì)掃描管本身無(wú)損傷。經(jīng)測(cè)試合格的掃描管再制作成SPM掃描 器。這樣本實(shí)用新型掃描器就可以方便完成對(duì)掃描管的篩選，降低了掃描器的 生產(chǎn)成本，提高了成品掃描器的一致性。


圖1為本實(shí)用新型的可拆卸式掃描器結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型可拆卸式掃描器的底座結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃 描器作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
圖1為本實(shí)用新型的可拆卸式掃描器結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，本實(shí)用新型 用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器主要有三個(gè)部分組成一掃描臺(tái)1、掃描器殼體4和底座8， 一緊固螺栓3用于緊固殼體4，該底座8為可拆卸式的， 掃描器殼體4上設(shè)有四個(gè)壓簧7,底座8設(shè)有一個(gè)壓簧(圖中可以看到殼體上的 一個(gè)壓簧，其余三個(gè)以間隔90度排列)， 一固定螺栓6穿過(guò)掃描器殼體4，殼體 上壓簧的力可由調(diào)節(jié)固定螺栓6調(diào)節(jié)， 一掃描管2 —端放置在掃描臺(tái)1上，掃 描管2另一端安裝于可拆卸底座8上，掃描管2的內(nèi)壁插在安裝底座8上并與 底座上的壓簧接觸，外壁四個(gè)電極分別與其余四個(gè)金屬壓簧接觸，圖2為本實(shí) 用新型可拆卸式掃描器的底座結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，底座8的主體部分是 一個(gè)有一定錐度的圓柱體且橫截面是梯形，沿著錐面有壓簧貼在底座8主體部 分上。掃描臺(tái)1的中間放置有接觸性好且固定牢靠的磁鋼，該磁鋼用于固定掃 描的樣品。固定螺栓6緊固壓簧7，使掃描管2固定在殼體4中。固定的松緊程 度可通過(guò)固定螺栓6調(diào)節(jié)。連接線9一端連接到壓簧7上，另一端組成電學(xué)接 口與SPM儀器電學(xué)連接。在殼體4上有一凸緣形成的安裝平臺(tái)5,該安裝平臺(tái)5 可以安裝到SPM儀器上。
整個(gè)掃描器殼體采用絕緣材料加工，具有良好的電絕緣性能?？刹鹦兜鬃?與殼體連接是緊密配合，保證一定的強(qiáng)度，且又方便分離、拆卸。本實(shí)用新型 掃描器最大的特點(diǎn)就是掃描管的固定采用可拆卸式固定，而電信號(hào)的連接則采 用金屬壓簧片連接。掃描管通過(guò)壓簧緊固的方式被牢固地被固定在掃描器上， 同時(shí)又可以方^f更地拆卸。無(wú)損傷的機(jī)械連接方式和電連接方式保證了壓電掃描 管的無(wú)損傷測(cè)試。同時(shí)，本掃描器可以適用不同長(zhǎng)度和不同內(nèi)外徑的掃描管， 擴(kuò)大了它的測(cè)試范圍。本實(shí)用新型掃描器可以完成掃描管的實(shí)際電壓位移特性 的測(cè)試，該掃描器能夠方便的安裝和拆卸多種尺寸規(guī)格的壓電掃描管，并且對(duì) 掃描管本身無(wú)損傷。經(jīng)測(cè)試合格的掃描管再制作成SPM掃描器。這樣本實(shí)用新 型掃描器就可以方便完成對(duì)掃描管的篩選，降低了掃描器的生產(chǎn)成本，提高了 成品掃描器的一致性。
以上介紹的僅僅是基于本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不能以此來(lái)限定本實(shí) 用新型的范圍。任何對(duì)本實(shí)用新型作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的步驟的替換、組合、 分立，以及對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施步驟作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的等同改變或替換均不 超出本實(shí)用新型的揭露以及保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器，其特征在于，其包括一掃描臺(tái)、掃描器殼體和底座，四個(gè)壓簧設(shè)于該掃描器殼體，一個(gè)壓簧設(shè)于該底座上，連接線一端連接到該些壓簧上，一掃描管一端放置在該掃描臺(tái)上且其另一端安裝于該底座上。
2. 如權(quán)利要求1所述的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器，其 特征在于，所述底座主體部分是一個(gè)圓柱體且橫截面是梯形。
3. 如權(quán)利要求1所述的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器，其 特征在于，所述底座為可拆卸式。 '
4. 如權(quán)利要求1所述的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器，其 特征在于，所述掃描器殼體上有一凸緣形成的安裝平臺(tái)，該安裝平臺(tái)安裝到掃 描探針顯微鏡上。
5. 如權(quán)利要求1所述的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器，其 特征在于，所述壓簧對(duì)應(yīng)設(shè)置一固定螺栓，該固定螺栓穿過(guò)掃描器殼體。
6. 如權(quán)利要求1所述的用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器，其 特征在于，所述掃描管的內(nèi)壁插在底座上并與金屬壓簧接觸。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于壓電掃描管畸變量測(cè)試的可拆卸式掃描器，該掃描器包括一掃描臺(tái)、掃描器殼體和底座，四個(gè)壓簧設(shè)于該掃描器殼體，一個(gè)壓簧設(shè)于該底座上，連接線一端連接到該些壓簧上，一掃描管一端放置在該掃描臺(tái)上且其另一端安裝于該底座上。該款掃描器能夠方便地安裝和拆卸多種尺寸規(guī)格的壓電掃描管，降低掃描器的生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)G01R1/02GK201159752SQ20082005452
公開(kāi)日2008年12月3日 申請(qǐng)日期2008年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月8日
發(fā)明者孫惠良, 波 張, 黃良君 申請(qǐng)人:上海愛(ài)建納米科技發(fā)展有限公司