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晶圓測試系統(tǒng)及晶圓測試方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5963091

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體,尤其涉及晶圓測試領(lǐng)域。背景技術(shù)·半導(dǎo)體測試工藝屬于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵領(lǐng)域,半導(dǎo)體測試包括CP(CircuitProbe)測試,CP (Circuit Probe)測試也稱晶圓測試(wafer test),是半導(dǎo)體器件后道封裝測試的第一步,目的是將晶圓中的不良芯片挑選出來。通常,晶圓指制作集成電路所用的硅片,在晶圓上的集成電路全部制作完成后,晶圓上包含若干個芯片。在晶圓測試步驟中,就需要對所述芯片進行電性測試,以確保在封裝之前,晶圓上的芯片是...
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