技術(shù)編號(hào)：5907232
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種檢查機(jī)，特別是涉及一種晶粒外觀檢查機(jī)。 背景技術(shù)如圖1所示，以往在晶圓切割后為了檢查晶粒是否不良，作業(yè)員需利用一個(gè)顯微鏡1來檢查數(shù)個(gè)粘附于一張膠膜2的晶粒201，以對(duì)不良的晶粒201做標(biāo)記，或利用一個(gè)吸筆裝置3將不良的晶粒201吸除，雖然，由作業(yè)員來判別不良晶粒201的準(zhǔn)確性很高，但是， 作業(yè)員通過該顯微鏡1來做人工檢查的速度很慢，并且可能發(fā)生重復(fù)檢查相同晶粒201的情形，此外，由于人眼容易疲勞，因此，往往也會(huì)在檢查后發(fā)生誤標(biāo)記到良好的晶...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。