專利名稱：晶粒外觀檢查機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢查機(jī)，特別是涉及一種晶粒外觀檢查機(jī)。
背景技術(shù)：
如圖1所示，以往在晶圓切割后為了檢查晶粒是否不良，作業(yè)員需利用一個(gè)顯微鏡1來檢查數(shù)個(gè)粘附于一張膠膜2的晶粒201，以對(duì)不良的晶粒201做標(biāo)記，或利用一個(gè)吸筆裝置3將不良的晶粒201吸除，雖然，由作業(yè)員來判別不良晶粒201的準(zhǔn)確性很高，但是， 作業(yè)員通過該顯微鏡1來做人工檢查的速度很慢，并且可能發(fā)生重復(fù)檢查相同晶粒201的情形，此外，由于人眼容易疲勞，因此，往往也會(huì)在檢查后發(fā)生誤標(biāo)記到良好的晶粒201或誤移除良好的晶粒201的問題。如圖2所示，為現(xiàn)有一種可自動(dòng)判別晶粒外觀的晶粒外觀檢查機(jī)，包含一個(gè)可沿X 軸方向與Y軸方向移動(dòng)并可繞ζ軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)的工作臺(tái)4、一個(gè)取像單元5、一個(gè)具有吸嘴601 的移除單元6，及一個(gè)可控制該工作臺(tái)4、該取像單元5與該移除單元6的中央處理單元7， 當(dāng)作業(yè)員將粘附有所述晶粒201的膠膜2擺置于該工作臺(tái)4后，該中央處理單元7會(huì)先進(jìn)行晶粒自動(dòng)對(duì)正程序與校正機(jī)器原點(diǎn)坐標(biāo)的程序；接著，該中央處理單元7會(huì)控制該取像單元5去掃瞄拍攝所述晶粒201的影像；接著，該中央處理單元7會(huì)定位出每一個(gè)晶粒201 的坐標(biāo)位置，并通過影像比對(duì)軟件將所述晶粒201的影像與內(nèi)建的樣本影像進(jìn)行比對(duì)，以自動(dòng)判別所述晶粒201是否不良；最后，該中央處理單元7會(huì)控制該移除單元6將不良的晶粒201移除。雖然，此種晶粒外觀檢查機(jī)可利用影像比對(duì)軟件來自動(dòng)判別所述晶粒201是否不良，然而，在實(shí)務(wù)上由于軟件判別的準(zhǔn)確性并無法達(dá)到人工檢查的100%，因此，最后仍是要如圖1所示一般，再由作業(yè)員通過該顯微鏡1對(duì)剩下的晶粒201進(jìn)行復(fù)檢，并以人工挑除其中的不良晶粒201，此外，這種晶粒外觀檢查機(jī)在檢查不同批或不同規(guī)格的晶粒時(shí)，均需重新進(jìn)行一次影像比對(duì)軟件的設(shè)定作業(yè)或教學(xué)程序，相當(dāng)費(fèi)時(shí)且麻煩。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種判別準(zhǔn)確性佳且作業(yè)方便的晶粒外觀檢查機(jī)。本實(shí)用新型晶粒外觀檢查機(jī)，適用于檢查數(shù)個(gè)粘附于一張膠膜的晶粒，包含一個(gè)機(jī)臺(tái)單元、一個(gè)工作臺(tái)單元、一個(gè)取像單元、一個(gè)中央處理單元，及一個(gè)檢視單元。該工作臺(tái)單元設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元，該工作臺(tái)單元供黏附有所述晶粒的膠膜擺置定位。該取像單元設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元，該取像單元拍攝所述晶粒的影像。該中央處理單元與該取像單元電連接， 該中央處理單元根據(jù)所述晶粒的影像對(duì)所述晶粒分別定義出一個(gè)坐標(biāo)位置。該檢視單元與該中央處理單元電連接，該檢視單元具有一個(gè)顯示所述晶粒的影像的觸控屏幕。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該檢視單元還具有一個(gè)鼠標(biāo)。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個(gè)設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元與該工作臺(tái)單元之間的移動(dòng)單元，該移動(dòng)單元具有一個(gè)第一移動(dòng)裝置，及一個(gè)第二移動(dòng)裝置，該第一移動(dòng)裝置設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元，并具有一個(gè)沿一個(gè)第一方向移動(dòng)的第一移動(dòng)部， 該第二移動(dòng)裝置設(shè)置于該第一移動(dòng)部，并具有一個(gè)沿一個(gè)垂直于所述第一方向的第二方向移動(dòng)的第二移動(dòng)部，該工作臺(tái)單元設(shè)置于該第二移動(dòng)部。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個(gè)與該中央處理單元電連接的移除單元，該移除單元具有一個(gè)設(shè)置于該機(jī)架單元的移載機(jī)構(gòu)，及一個(gè)設(shè)置于該移載機(jī)構(gòu)的吸取裝置。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該移載機(jī)構(gòu)具有一個(gè)第三移動(dòng)裝置，及一個(gè)第四移動(dòng)裝置，該第三移動(dòng)裝置設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元，并具有一個(gè)沿該第一方向移動(dòng)的第三移動(dòng)部，該第四移動(dòng)裝置設(shè)置于該第三移動(dòng)部，并具有一個(gè)沿一個(gè)垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移動(dòng)的第四移動(dòng)部，該吸取裝置設(shè)置于該第四移動(dòng)部。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該中央處理單元可將所述晶粒的影像分區(qū)顯示于該觸控屏幕地電連接于該檢視單元。本實(shí)用新型的有益效果在于利用該取像單元去掃瞄拍攝所述晶粒的影像，并將所述晶粒的影像顯示于該觸控屏幕，以供作業(yè)員準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。

圖1是現(xiàn)有作業(yè)員利用一個(gè)顯微鏡來檢查晶粒的平面示意圖；圖2現(xiàn)有一種晶粒外觀檢查機(jī)的平面示意圖；圖3是本實(shí)用新型的晶粒外觀檢查機(jī)一較佳實(shí)施例的平面示意圖；圖4是作業(yè)員通過該較佳實(shí)施例的一個(gè)觸控屏幕來檢查晶粒并直接在該觸控屏幕上點(diǎn)選出不良晶粒的作業(yè)示意圖；圖5是作業(yè)員通過該觸控屏幕來檢查晶粒并利用該較佳實(shí)施例的一個(gè)鼠標(biāo)在該觸控屏幕上點(diǎn)選出不良晶粒的作業(yè)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。有關(guān)本實(shí)用新型的前述及其它技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效，在以下配合參考附圖的一較佳實(shí)施例的詳細(xì)說明中，將可清楚地明白。參閱圖3，為本實(shí)用新型晶粒外觀檢查機(jī)的較佳實(shí)施例，該晶粒外觀檢查機(jī)適用于檢查數(shù)個(gè)粘附于一張膠膜100的晶粒200，并包含一個(gè)機(jī)臺(tái)單元10、一個(gè)移動(dòng)單元20、一個(gè)工作臺(tái)單元30、一個(gè)取像單元40、一個(gè)中央處理單元50、一個(gè)檢視單元60，及一個(gè)移除單元70。 該移動(dòng)單元20設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元10與該工作臺(tái)單元30之間，該移動(dòng)單元20具有一個(gè)第一移動(dòng)裝置21，及一個(gè)第二移動(dòng)裝置22，該第一移動(dòng)裝置21設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元10， 并具有一個(gè)可沿一個(gè)第一方向X移動(dòng)的第一移動(dòng)部211，該第二移動(dòng)裝置22設(shè)置于該第一移動(dòng)部211，并具有一個(gè)可沿一個(gè)垂直于第一方向X的第二方向Y移動(dòng)的第二移動(dòng)部221。 該工作臺(tái)單元30可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置于該第二移動(dòng)部221，而位于該機(jī)臺(tái)單元10上，該工作臺(tái)單元30可供黏附有所述晶粒200的膠膜100擺置定位。在本實(shí)施例中，該工作臺(tái)單元30可繞一個(gè)垂直于第一方向X、第二方向Y的第三方向Z轉(zhuǎn)動(dòng)。[0023]該取像單元40設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元10，該取像單元40可拍攝所述晶粒200的影像。 在本實(shí)施例中，該取像單元40是一種攝影機(jī)。該中央處理單元50與該移動(dòng)單元20、該工作臺(tái)單元30、該取像單元40、該檢視單元60與該移除單元70電連接，該中央處理單元50可根據(jù)所述晶粒200的影像對(duì)所述晶粒 200分別定義出一個(gè)坐標(biāo)位置。該檢視單元60與該中央處理單元50電連接，該檢視單元60具有一個(gè)顯示所述晶粒200的影像的觸控屏幕61，及一個(gè)鼠標(biāo)62。在本實(shí)施例中，該中央處理單元50可將所述晶粒200的影像分區(qū)顯示于該觸控屏幕61。該移除單元70與該中央處理單元50電連接，該移除單元70具有一個(gè)設(shè)置于該機(jī)架單元10的移載機(jī)構(gòu)71，及一個(gè)設(shè)置于該移載機(jī)構(gòu)71的吸取裝置72。該移載機(jī)構(gòu)71具有一個(gè)第三移動(dòng)裝置73，及一個(gè)第四移動(dòng)裝置74，該第三移動(dòng)裝置73設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元10，并具有一個(gè)可沿第一方向X移動(dòng)的第三移動(dòng)部731，該第四移動(dòng)裝置74設(shè)置于該第三移動(dòng)部731，并具有一個(gè)可沿第三方向Z移動(dòng)的第四移動(dòng)部741。該吸取裝置72設(shè)置于該第四移動(dòng)部741，并具有一個(gè)吸嘴721。借此，如圖4、5所示，當(dāng)要檢查所述晶粒200的外觀時(shí)，該中央處理單元50會(huì)先進(jìn)行晶粒自動(dòng)對(duì)正程序與校正機(jī)器原點(diǎn)坐標(biāo)的程序；接著，該中央處理單50會(huì)控制該移動(dòng)單元20與該取像單元40，讓該取像單元40去掃瞄拍攝所述晶粒200的影像；接著，該中央處理單元50會(huì)根據(jù)所述晶粒200的影像對(duì)每一個(gè)晶粒200定義出該坐標(biāo)位置；接著，該中央處理單元50會(huì)將所述晶粒200的影像分區(qū)放大顯示于該觸控屏幕61，以供作業(yè)員檢查所述晶粒200是否不良；接著，作業(yè)員可在該觸控屏幕61上直接點(diǎn)選出不良的晶粒200或利用該鼠標(biāo)62點(diǎn)選出不良的晶粒200，在此過程中，該中央處理單元50會(huì)記錄不良晶粒200的坐標(biāo)位置；最后，該中央處理單元50會(huì)根據(jù)不良晶粒200的坐標(biāo)位置，控制該移動(dòng)單元20 與該移除單元70，讓該移除單元70將不良的晶粒200準(zhǔn)確地移除。要說明的是，本實(shí)用新型也可取消該移除單元70的設(shè)置，而在該中央處理單元50 記錄不良晶粒200的坐標(biāo)位置后，將不良晶粒200的坐標(biāo)位置數(shù)據(jù)輸出，以供使用者在另一臺(tái)移除機(jī)器根據(jù)這些坐標(biāo)位置數(shù)據(jù)，進(jìn)行不良晶粒200的移除作業(yè)。經(jīng)由以上的說明，可再將本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)歸納如下一、本實(shí)用新型是利用該取像單元40去掃瞄拍攝所述晶粒200的影像，而可快速地完成所述晶粒200的取像作業(yè)，并可將所述晶粒200的影像顯示于該觸控屏幕61，供作業(yè)員檢查，相較于現(xiàn)有作業(yè)員利用顯微鏡檢查的方式，不但作業(yè)員不易發(fā)生眼睛疲勞的情形， 而且，由于所述晶粒200的影像是自動(dòng)分區(qū)放大顯示于該觸控屏幕61，因此，作業(yè)員可快速且正確地對(duì)每一個(gè)晶粒200進(jìn)行檢查，并且不會(huì)發(fā)生重復(fù)檢查或誤標(biāo)記的問題。二、此外，由于本實(shí)用新型是讓作業(yè)員觀看該觸控屏幕61顯示的影像來判別所述晶粒200是否不良，因此，本實(shí)用新型判別的準(zhǔn)確性會(huì)遠(yuǎn)高于現(xiàn)有技術(shù)利用影像比對(duì)軟件來判別的準(zhǔn)確性，而且在檢查不同批或不同規(guī)格的晶粒時(shí)，本實(shí)用新型也完全不需重新進(jìn)行現(xiàn)有比對(duì)軟件的設(shè)定作業(yè)，在作業(yè)上相當(dāng)省時(shí)且方便。綜上所述，本實(shí)用新型的晶粒外觀檢查機(jī)，不但判別準(zhǔn)確性佳且作業(yè)快速、方便， 所以確實(shí)能達(dá)成本實(shí)用新型的目的。
權(quán)利要求1.一種晶粒外觀檢查機(jī)，適用于檢查數(shù)個(gè)粘附于一張膠膜的晶粒，其特征在于該晶粒外觀檢查機(jī)包含一個(gè)機(jī)臺(tái)單元、一個(gè)供黏附有所述晶粒的膠膜擺置定位的工作臺(tái)單元、 一個(gè)用于拍攝所述晶粒的影像的取像單元、一個(gè)根據(jù)所述晶粒的影像對(duì)所述晶粒分別定義出一個(gè)坐標(biāo)位置的中央處理單元，及一個(gè)檢視單元；該工作臺(tái)單元，設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元；該取像單元，設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元；該中央處理單元，與該取像單元電連接；該檢視單元，與該中央處理單元電連接，該檢視單元具有一個(gè)顯示所述晶粒的影像的觸控屏幕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該檢視單元還具有一個(gè)鼠標(biāo)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個(gè)設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元與該工作臺(tái)單元之間的移動(dòng)單元，該移動(dòng)單元具有一個(gè)第一移動(dòng)裝置，及一個(gè)第二移動(dòng)裝置，該第一移動(dòng)裝置設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元，并具有一個(gè)沿一個(gè)第一方向移動(dòng)的第一移動(dòng)部，該第二移動(dòng)裝置設(shè)置于該第一移動(dòng)部，并具有一個(gè)沿一個(gè)垂直于所述第一方向的第二方向移動(dòng)的第二移動(dòng)部，該工作臺(tái)單元設(shè)置于該第二移動(dòng)部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個(gè)與該中央處理單元電連接的移除單元，該移除單元具有一個(gè)設(shè)置于該機(jī)架單元的移載機(jī)構(gòu)，及一個(gè)設(shè)置于該移載機(jī)構(gòu)的吸取裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該移載機(jī)構(gòu)具有一個(gè)第三移動(dòng)裝置，及一個(gè)第四移動(dòng)裝置，該第三移動(dòng)裝置設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元，并具有一個(gè)沿該第一方向移動(dòng)的第三移動(dòng)部，該第四移動(dòng)裝置設(shè)置于該第三移動(dòng)部，并具有一個(gè)沿一個(gè)垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移動(dòng)的第四移動(dòng)部，該吸取裝置設(shè)置于該第四移動(dòng)部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該中央處理單元可將所述晶粒的影像分區(qū)顯示于該觸控屏幕地電連接于該檢視單元。
專利摘要一種晶粒外觀檢查機(jī)，適用于檢查數(shù)個(gè)粘附于一張膠膜的晶粒，包含一個(gè)機(jī)臺(tái)單元、一個(gè)設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元并可供粘附有所述晶粒的膠膜擺置定位的工作臺(tái)單元、一個(gè)設(shè)置于該機(jī)臺(tái)單元并可拍攝所述晶粒的影像的取像單元、一個(gè)與該取像單元電連接的中央處理單元，及一個(gè)與該中央處理單元電連接的檢視單元，該中央處理單元根據(jù)所述晶粒的影像對(duì)所述晶粒分別定義出一個(gè)坐標(biāo)位置，該檢視單元具有一個(gè)顯示所述晶粒的影像的觸控屏幕。
文檔編號(hào)G01N21/88GK201955309SQ201120037829
公開日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2011年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月14日
發(fā)明者陳冠男, 陳清涼 申請(qǐng)人:富振昌科技股份有限公司