技術(shù)編號：5899540
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種半導體失效分析設(shè)備，具體涉及一種便于拾取TEM樣品的樣品臺。背景技術(shù)在半導體失效分析方法中，TEM(Transmission electron microscopy透射電鏡) 分析日漸趨于主導。TEM分析需要制備TEM樣品，在TEM樣品制備完成后需進行TEM樣品的 Pick-up(拾取)。也就是采用玻璃針20，將樣品10拾取到針尖部位，如附圖說明圖1所示。但是，在 拾取TEM樣品的過程中，出現(xiàn)失敗的概率很高。經(jīng)常發(fā)生的是，在Pick-up...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。