專利名稱：便于拾取tem樣品的樣品臺的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體失效分析設備，具體涉及一種便于拾取TEM樣品的樣品臺。
背景技術：
在半導體失效分析方法中，TEM(Transmission electron microscopy透射電鏡) 分析日漸趨于主導。TEM分析需要制備TEM樣品，在TEM樣品制備完成后需進行TEM樣品的 Pick-up(拾取)。也就是采用玻璃針20，將樣品10拾取到針尖部位，如

圖1所示。但是，在 拾取TEM樣品的過程中，出現(xiàn)失敗的概率很高。經(jīng)常發(fā)生的是，在Pick-up過程中，TEM樣 品10跳到玻璃針20的針尖以上部位，如圖2所示，很難把樣品取下來。為了將位于針尖以上部位的TEM樣品取下來，現(xiàn)有的方法是，將針從機臺上取下， 然后用另一個針進行拾取。這種方法的缺點是取針過程中由于振動，容易使樣品丟失，造 成損失。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種便于拾取TEM樣品的樣品臺，它可以 提高TEM樣品拾取的成功率。為解決上述技術問題，本實用新型便于拾取TEM樣品的樣品臺的技術解決方案 為包括樣品臺，樣品臺的一端設有固定座，固定座的頂面設有凹槽，凹槽內設置有樣 品臺玻璃針，固定座的頂部設有固定蓋，固定蓋與固定座通過螺絲旋鈕連接，將樣品臺玻璃 針連接于固定座上。所述凹槽沿水平方向延伸。所述樣品臺玻璃針與固定座之間設有間隙。所述樣品臺玻璃針的針尾部套設有針尾套。所述針尾套設有凸起。本實用新型可以達到的技術效果是本實用新型能夠大幅提高TEM樣品拾取的成功率，避免了丟失樣品的可能，同時 避免了由于樣品的丟失而無法進行下一步分析，造成工程延后的嚴重后果。采用本實用新型進行TEM樣品的拾取，可以節(jié)省取針這一過程，避免在取針過程 中丟失樣品。
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明圖1是樣品在玻璃針上的正確位置；圖2是樣品在玻璃針上的錯誤位置；[0017][0018][0019][0020][0023][0024][0025][0026]圖3是本實用新型便于拾取TEM樣品的樣品臺的結構示意圖圖4是圖3的俯視圖；圖5是圖4中A的局部放大圖；圖6是圖3的側視圖；圖7是本實用新型的使用狀態(tài)示意圖。圖中附圖標記說明20為玻璃針， 2為固定座， 3為固定蓋， 5為樣品臺玻璃針， 61為凸起。10為樣品， 1為樣品臺， 21為凹槽， 4為螺絲旋鈕， 6為針尾套，具體實施方式
[0028]如圖3、圖4、圖6所示，本實用新型便于拾取TEM樣品的樣品臺，包括樣品臺1，樣 品臺1的一端設有用于固定玻璃針的固定座2，固定座2的高度大于樣品臺1 ；[0029]固定座2的頂面設有沿水平方向延伸的凹槽21，凹槽21內水平設置有樣品臺玻璃 針5，固定座2的頂部設有固定蓋3，固定蓋3與固定座2通過螺絲旋鈕4固定連接，將樣品 臺玻璃針5連接于固定座2上。[0030]樣品臺玻璃針5與固定座2之間設有間隙，樣品臺玻璃針5能夠相對于固定座2 旋轉。[0031]樣品臺玻璃針5的針尾部套設有針尾套6。[0032]如圖5所示，針尾套6設有沿徑向延伸的凸起61。凸起61用于確認樣品臺玻璃針 5的旋轉角度和轉向。[0033]利用本實用新型拾取TEM樣品的方法如下[0034]1、用一個可自由活動的玻璃針20拾取樣品，如果樣品準確地落入玻璃針20的針 尖部位，則樣品被成功拾取；[0035]2、如果樣品未能準確地落入玻璃針20的針尖部位，而是落入玻璃針20的其它部 位，則使帶有樣品的玻璃針20靠近樣品臺玻璃針5，利用玻璃針的靜電將樣品轉移至樣品 臺玻璃針5上；這樣就無需取下帶有樣品的玻璃針20，避免的樣品丟失的可能；[0036]3、如圖7所示，通過旋轉樣品臺玻璃針5，調整樣品的角度，將樣品臺玻璃針5上的 樣品轉移到玻璃針20的針尖上，則樣品被成功拾取。
權利要求1.一種便于拾取TEM樣品的樣品臺，其特征在于包括樣品臺，樣品臺的一端設有固定 座，固定座的頂面設有凹槽，凹槽內設置有樣品臺玻璃針，固定座的頂部設有固定蓋，固定 蓋與固定座通過螺絲旋鈕連接，將樣品臺玻璃針連接于固定座上。
2.根據(jù)權利要求1所述的便于拾取TEM樣品的樣品臺，其特征在于所述凹槽沿水平 方向延伸。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的便于拾取TEM樣品的樣品臺，其特征在于所述樣品臺 玻璃針與固定座之間設有間隙。
4.根據(jù)權利要求1所述的便于拾取TEM樣品的樣品臺，其特征在于所述樣品臺玻璃 針的針尾部套設有針尾套。
5.根據(jù)權利要求4所述的便于拾取TEM樣品的樣品臺，其特征在于所述針尾套設有 凸起。
專利摘要本實用新型公開了一種便于拾取TEM樣品的樣品臺，包括樣品臺，樣品臺的一端設有固定座，固定座的頂面設有凹槽，凹槽內設置有樣品臺玻璃針，固定座的頂部設有固定蓋，固定蓋與固定座通過螺絲旋鈕連接，將樣品臺玻璃針連接于固定座上。本實用新型能夠大幅提高TEM樣品拾取的成功率，避免了丟失樣品的可能，同時避免了由于樣品的丟失而無法進行下一步分析，造成工程延后的嚴重后果。
文檔編號G01N1/36GK201819918SQ201020551078
公開日2011年5月4日 申請日期2010年9月30日 優(yōu)先權日2010年9月30日
發(fā)明者芮志賢, 賴華平 申請人:上海華虹Nec電子有限公司