技術(shù)編號：5842926
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。膦是在利用金屬-有機(jī)化學(xué)蒸汽沉積(MOCVD)法制造發(fā)光裝置(LED)所使用的反應(yīng)劑。例如，制造廠家使用膦生產(chǎn)AlInGaP(磷化鋁銦鎵)LED。遺憾的是，在高ppb或低ppm范圍的硫?qū)ED的特性有著不利的影響。例如，甚至高純度的膦原料也會(huì)引起這種硫的污染。硫化氫是這種最常見的污染源。為了消除這種污染源，氣體制造廠家需要一種測量膦中數(shù)量級為100ppb或更低的硫化氫的分析方法，以便改進(jìn)純化產(chǎn)物。將半導(dǎo)體硫的分析推回到膦氣體以作為膦生產(chǎn)廠的質(zhì)量控制或產(chǎn)品檢...
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