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真空處理設(shè)備、控制真空處理設(shè)備的方法及器件制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5740241

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閘閥107包括布置在真空室105中的閥體lll和驅(qū)動閥體lll 的驅(qū)動部分112。驅(qū)動部分112具有一組桿部113a和113b以及一組缸 114a和114b。桿部113a和113b沿著接近排氣口 110的方向(圖3中箭 頭b的方向)和從排氣口 110分離的方向(圖3中箭頭a的方向)驅(qū)動 閥體111。缸114a和114b分別驅(qū)動桿部113a和113b。0004桿部113a和113b與閥體111的運(yùn)動方向平行地延伸,并且 各自在其一端處支承閥體ill。這組缸U...
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