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一種晶圓反應(yīng)室的閥門(mén)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5581432

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本實(shí)用新型涉及到一種閥門(mén)結(jié)構(gòu),尤其涉及到一種運(yùn)用于晶圓反應(yīng)室的氣體通道上,可快速可靠關(guān)閉其氣體通道,有利于控制反應(yīng)室內(nèi)的壓力或氣體的含量的一種晶圓反應(yīng)室的閥門(mén)結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)晶圓反應(yīng)室內(nèi)的壓力、溫度、灰塵含量或其必要?dú)怏w的含量,需要有相當(dāng)精準(zhǔn)的控制才可在制造產(chǎn)品時(shí)得到較佳的品質(zhì)與良率,其中控制反應(yīng)室的氣體通道即為相當(dāng)重要的一環(huán),一般反應(yīng)室的氣體通道閥門(mén)都是具精密的設(shè)計(jì)且造價(jià)昂貴,其最主要的目的就是要能精準(zhǔn)的控制反應(yīng)室內(nèi)的壓力、溫度、灰塵含量或其必要?dú)怏w的含量...
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