專利名稱：一種晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及到一種閥門結(jié)構(gòu)，尤其涉及到一種運(yùn)用于晶圓反應(yīng)室的氣體通道上，可快速可靠關(guān)閉其氣體通道，有利于控制反應(yīng)室內(nèi)的壓力或氣體的含量的一種晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
晶圓反應(yīng)室內(nèi)的壓力、溫度、灰塵含量或其必要?dú)怏w的含量，需要有相當(dāng)精準(zhǔn)的控制才可在制造產(chǎn)品時(shí)得到較佳的品質(zhì)與良率，其中控制反應(yīng)室的氣體通道即為相當(dāng)重要的一環(huán)，一般反應(yīng)室的氣體通道閥門都是具精密的設(shè)計(jì)且造價(jià)昂貴，其最主要的目的就是要能精準(zhǔn)的控制反應(yīng)室內(nèi)的壓力、溫度、灰塵含量或其必要?dú)怏w的含量等，以期能得到較佳的品質(zhì)與優(yōu)良率進(jìn)一步降低其制造成本增加獲利。
而由于一般晶圓反應(yīng)室內(nèi)含的氣體許多是具有強(qiáng)堿性或強(qiáng)酸性等腐蝕性強(qiáng)的氣體，因此其需要以特殊的材質(zhì)將閥門整個(gè)包覆而造成此種閥門造價(jià)昂貴，但此閥門往往經(jīng)一段時(shí)間使用后即仍會(huì)遭到腐蝕不堪使用而需要更換的，從而增加了生產(chǎn)成本。
有鑒于上述現(xiàn)有的晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)存在的缺陷，本設(shè)計(jì)人基于豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，積極加以研究創(chuàng)新，經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本實(shí)用新型。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于通過(guò)提供一種晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)使前述的閥門能經(jīng)由簡(jiǎn)單的動(dòng)作就能快速可靠的關(guān)閉氣體通道，以使減少閥門投入的的造價(jià)，大幅降低成本。
本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。
一種晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)，其具有一設(shè)置于晶圓反應(yīng)室的氣體通道上且內(nèi)具一容室的一箱體，該箱體與氣體通道形成密閉設(shè)置，該容室內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有一閥門裝置，以及箱體外設(shè)置有可驅(qū)動(dòng)閥門裝置的一動(dòng)作裝置，該閥門裝置包括一滑動(dòng)板，該滑動(dòng)板相對(duì)兩端設(shè)置有至少兩滾輪，使滑動(dòng)板以可往復(fù)滑動(dòng)方式設(shè)置于箱體內(nèi)，且滑動(dòng)板上端與動(dòng)作裝置固接，又滑動(dòng)板一側(cè)壁面上環(huán)狀間格設(shè)置有分別以第一槽與第二槽共同組成至少兩軌道，且第一槽與第二槽形成有高、低位差；一動(dòng)作板，此動(dòng)作板樞設(shè)于滑動(dòng)板設(shè)置有軌道的一側(cè)壁面上，動(dòng)作板對(duì)應(yīng)各軌道分別設(shè)置有一鋼珠座，且鋼珠座與軌道間設(shè)置有一鋼珠，使鋼珠一端樞設(shè)于鋼珠座內(nèi)，另一端伸入軌道的一槽內(nèi)，又動(dòng)作板的外周緣設(shè)置有一頂桿；一遮蔽板，此遮蔽板固設(shè)于動(dòng)作板的外側(cè)，且遮蔽板的一側(cè)設(shè)置有一墊圈；當(dāng)動(dòng)作裝置將閥門裝置推向氣體通道口時(shí)，動(dòng)作板的頂桿抵于箱體內(nèi)側(cè)壁面頂?shù)质蛊鋭?dòng)作，此時(shí)鋼珠由軌道的一槽滾向另一槽，使遮蔽板與動(dòng)作板產(chǎn)生橫向位移至氣體通道口并封閉氣體通道口。
前述的動(dòng)作板上對(duì)應(yīng)遮蔽板的軌道設(shè)置有數(shù)個(gè)穿孔，各穿孔分別可供容設(shè)一鋼珠座，且鋼珠座受扣環(huán)夾固而穩(wěn)固設(shè)置于動(dòng)作板上。
前述的墊圈可依據(jù)氣體通道內(nèi)的氣體選擇合適的材質(zhì)。
前述的動(dòng)作裝置主要由一動(dòng)作缸與突伸出動(dòng)作缸外的一推臂組成，閥門裝置的滑動(dòng)板與動(dòng)作裝置的推臂連接，使動(dòng)作缸驅(qū)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)閥門裝置。
前述的滑動(dòng)板的各軌道由深度較深的第一槽與深度較淺的第二槽共同組成。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有明顯的優(yōu)勢(shì)和有益效果。
本實(shí)用新型利用動(dòng)作裝置驅(qū)動(dòng)閥門裝置使其在垂直方向位移時(shí)遮蔽板與動(dòng)作板可產(chǎn)生橫向位移，并于縱向位移到達(dá)定位時(shí)，遮蔽板產(chǎn)生的橫向位移恰可關(guān)閉氣體通道口，以簡(jiǎn)單的動(dòng)作而能快速可靠的關(guān)閉氣體通道口，且設(shè)置于遮蔽板上的墊圈可視各氣體通道內(nèi)的氣體選擇合適的材質(zhì)設(shè)置，僅以小面積的墊圈即可封閉該氣體通道口可大幅降低成本。


圖1、為本實(shí)用新型的外觀正視圖；圖2、為沿圖1的2-2線所取的剖視圖；圖3、為本實(shí)用新型圖2的側(cè)視圖；圖4、為本實(shí)用新型關(guān)閉氣體通道口時(shí)的外觀正視圖；圖5、為沿圖4的5-5線所取的剖視圖；圖6、為本實(shí)用新型圖4的側(cè)視圖；圖7、為本實(shí)用新型第二實(shí)施例圖；圖8、為本實(shí)用新型第二實(shí)施例動(dòng)作圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明；本實(shí)用新型的一種晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)主要設(shè)置在晶圓反應(yīng)室的各氣體通道上，藉以能迅速且確實(shí)的關(guān)閉或開啟氣體通道口，請(qǐng)配合參閱圖1、圖2與圖3所示，該晶圓反應(yīng)室的氣體通道12上設(shè)置有一箱體1，此箱體1與氣體通道121形成密閉狀態(tài)以防止氣體通道12內(nèi)的氣體外泄，又此箱體1內(nèi)具有一容室11，此容室11可供滑動(dòng)設(shè)置一閥門裝置3，且箱體1外設(shè)置有一動(dòng)作裝置2，且當(dāng)動(dòng)作裝置2驅(qū)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)閥門裝置3關(guān)閉或開啟氣體通道口13。
該閥門裝置3主要具有一滑動(dòng)板33，此滑動(dòng)板33的左、右兩端設(shè)置至少一滾輪333，使滑動(dòng)板33可于箱體1內(nèi)作限位的滑動(dòng)動(dòng)作，而滑動(dòng)板33的一側(cè)壁面上環(huán)設(shè)有由數(shù)個(gè)第一槽331與第二槽332共同組成的數(shù)個(gè)軌道330，且各軌道330沿正圓周的方向等間距排列而成，又軌道330的第一槽331是相對(duì)于第二槽332的深度較深，使軌道330的第一槽331與第二槽332形成具有高低差的形態(tài)，而滑動(dòng)板33于此設(shè)有軌道330的一側(cè)壁面上樞設(shè)一動(dòng)作板32，此動(dòng)作板32對(duì)應(yīng)各軌道330設(shè)置有數(shù)個(gè)穿孔321，且各穿孔321內(nèi)設(shè)置有以扣持件324定位的鋼珠座322，各鋼珠座322與軌道330的第一槽331間設(shè)置有一鋼珠323，使該鋼珠323的一端以可樞轉(zhuǎn)方式定位于鋼珠座322內(nèi)，另一端則伸入軌道330的第一槽331內(nèi)，又動(dòng)作板32的外周緣上設(shè)置有一突伸出滑動(dòng)板33外的頂桿325。
動(dòng)作板32上相對(duì)滑動(dòng)板33的另一側(cè)固設(shè)有一遮蔽板31，且遮蔽板31的外側(cè)面開設(shè)有一環(huán)形的凹槽311，此凹槽311可供嵌設(shè)一墊圈312，當(dāng)動(dòng)作板32動(dòng)作時(shí)鋼珠323會(huì)由軌道330較深的第一槽331滾向較淺的第二槽332，使動(dòng)作板32與遮蔽板31形成橫向位移。
而動(dòng)作裝置2具有一動(dòng)作缸21，動(dòng)作缸21設(shè)置有突伸入箱體1內(nèi)且與滑動(dòng)板33頂端固接的一推臂22，使動(dòng)作裝置2可由推臂22驅(qū)動(dòng)閥門裝置2動(dòng)作產(chǎn)生關(guān)閉或開啟閥門的動(dòng)作。
如圖1與圖3所示，其為顯示閥門3打開的狀態(tài)，此時(shí)閥門3是位于氣體通道12的上方處，則氣體通道12內(nèi)的氣體可自由流通，再請(qǐng)參閱圖4圖5與圖6所示，當(dāng)欲關(guān)閉氣體通道12時(shí)，需要驅(qū)動(dòng)動(dòng)作裝置2的動(dòng)作缸21，此時(shí)動(dòng)作缸的推臂22會(huì)推抵滑動(dòng)板33向氣體通道12處移動(dòng)，且當(dāng)閥門裝置3移動(dòng)至接近箱體1底部時(shí)，頂桿325受箱體1內(nèi)側(cè)壁面抵壓而使動(dòng)作板32產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)動(dòng)作板32上的鋼珠座322的鋼珠323會(huì)由滑動(dòng)板33的軌道330的第一槽331滾向第二槽332(如圖5所示)，進(jìn)一步使遮蔽板31與動(dòng)作板32產(chǎn)生橫向位移而推向氣體通道12的氣體通道口13(如圖6所示)，使其墊圈312將氣體通道口13封閉，阻絕氣體通道13內(nèi)的氣體流通，當(dāng)要打開閥門3時(shí)，則使動(dòng)作缸21動(dòng)作將遮蔽裝置3向上拉起遠(yuǎn)離氣體通道口13，則遮蔽裝置3的動(dòng)作板32受重力影響產(chǎn)生反向轉(zhuǎn)動(dòng)，使鋼珠323由軌道330的第二槽332滾向第一槽331則遮蔽板31回復(fù)至圖2的狀態(tài)。
本實(shí)用新型的第二實(shí)施例，請(qǐng)參閱圖7與圖8所示，其中滑動(dòng)板33a上的軌道330a可為環(huán)狀等間距排列，且各軌道330a的第一槽331a均是位于第二槽332a的正下方，使各軌道330a形成同方向的環(huán)狀排列，而頂桿325a則設(shè)置于動(dòng)作板32a的外周緣正下方處，當(dāng)動(dòng)作裝置2驅(qū)使閥門裝置3a移動(dòng)至接近箱體1底部時(shí)，頂桿325a抵于箱體內(nèi)側(cè)面上，驅(qū)使動(dòng)作板32a與遮蔽板31a產(chǎn)生垂直方向位移，而使鋼珠323a由軌道330a的第一槽331a滾至第二槽332a，此時(shí)遮蔽板31a與動(dòng)作板32a產(chǎn)生橫向位移而將氣體通道口13封閉，當(dāng)欲開啟閥門時(shí)，則將閥門裝置3a拉起始其遠(yuǎn)離氣體通道口13，而遮蔽板31a與動(dòng)作板32a則受重力影響向下位移，鋼珠323a由第二槽332a滾項(xiàng)第一槽331a使閥門裝置3呈開啟狀態(tài)。
本實(shí)用新型利用動(dòng)作裝置2驅(qū)動(dòng)閥門裝置3、3a使其在垂直方向位移時(shí)遮蔽板31、31a與動(dòng)作板32、32a可產(chǎn)生橫向位移，并于縱向位移到達(dá)定位時(shí)，遮蔽板31、31a產(chǎn)生的橫向位移恰可關(guān)閉氣體通道口13，以簡(jiǎn)單的動(dòng)作而能快速可靠的關(guān)閉氣體通道口13，且設(shè)置于遮蔽板31、31a上的墊圈312、312a可視各氣體通道內(nèi)的氣體選擇合適的材質(zhì)設(shè)置，僅以小面積的墊圈312即可封閉該氣體通道口13可大幅降低成本。
最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型而并非限制本實(shí)用新型所描述的技術(shù)方案；因此，盡管本說(shuō)明書參照上述的各個(gè)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型已進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，但是，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，仍然可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行修改或者等同替換；而一切不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的技術(shù)方案及其改進(jìn)，其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求1.一種晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)，其具有一設(shè)置于晶圓反應(yīng)室的氣體通道上且內(nèi)具一容室的一箱體，該箱體與氣體通道形成密閉設(shè)置，其特征在于該容室內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置有一閥門裝置，以及箱體外設(shè)置有可驅(qū)動(dòng)閥門裝置的一動(dòng)作裝置，該閥門裝置包括一滑動(dòng)板，該滑動(dòng)板相對(duì)兩端設(shè)置有至少兩滾輪，使滑動(dòng)板以可往復(fù)滑動(dòng)方式設(shè)置于箱體內(nèi)，且滑動(dòng)板上端與動(dòng)作裝置固接，又滑動(dòng)板一側(cè)壁面上環(huán)狀間格設(shè)置有分別以第一槽與第二槽共同組成至少兩軌道，且第一槽與第二槽形成有高、低位差；一動(dòng)作板，此動(dòng)作板樞設(shè)于滑動(dòng)板設(shè)置有軌道的一側(cè)壁面上，動(dòng)作板對(duì)應(yīng)各軌道分別設(shè)置有一鋼珠座，且鋼珠座與軌道間設(shè)置有一鋼珠，使鋼珠一端樞設(shè)于鋼珠座內(nèi)，另一端伸入軌道的一槽內(nèi)，又動(dòng)作板的外周緣設(shè)置有一頂桿；一遮蔽板，此遮蔽板固設(shè)于動(dòng)作板的外側(cè)，且遮蔽板的一側(cè)設(shè)置有一墊圈。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)，其特征在于其中動(dòng)作板上對(duì)應(yīng)遮蔽板的軌道設(shè)置有數(shù)個(gè)穿孔，各穿孔分別可供容設(shè)一鋼珠座，且鋼珠座受扣環(huán)夾固而穩(wěn)固設(shè)置于動(dòng)作板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)，其特征在于其中動(dòng)作裝置主要由一動(dòng)作缸與突伸出動(dòng)作缸外的一推臂組成，閥門裝置的滑動(dòng)板與動(dòng)作裝置的推臂連接，動(dòng)作缸驅(qū)動(dòng)閥門裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)，其特征在于其中滑動(dòng)板的各軌道由深度較深的第一槽與深度較淺的第二槽共同組成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶圓反應(yīng)室的閥門結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)具有與氣體通道密閉設(shè)置的箱體，而箱體的容室滑動(dòng)設(shè)置一閥門裝置，箱體外設(shè)置有可驅(qū)動(dòng)閥門裝置的一動(dòng)作裝置，其中閥門裝置具有一滑動(dòng)板，此滑動(dòng)板一側(cè)壁面環(huán)設(shè)有以第一槽與第二槽共同組成的軌道，且此一側(cè)壁上樞設(shè)有一動(dòng)作板，此動(dòng)作板上對(duì)應(yīng)各軌道設(shè)置內(nèi)具鋼珠的數(shù)個(gè)鋼珠座，動(dòng)作板的一側(cè)固設(shè)有一遮蔽板，此遮蔽板的一側(cè)壁面上設(shè)置有可封閉氣體通道的一墊圈，當(dāng)閥門裝置的動(dòng)作板動(dòng)作時(shí)，會(huì)使鋼珠由軌道第一槽滾向第二槽，使遮蔽板往氣體通道口橫向位移且將之關(guān)閉，達(dá)到利用簡(jiǎn)單的機(jī)械動(dòng)作迅速且確實(shí)的關(guān)閉氣體通道口。
文檔編號(hào)F16K3/02GK2713238SQ20042007307
公開日2005年7月27日 申請(qǐng)日期2004年7月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月6日
發(fā)明者吳維岳 申請(qǐng)人:吳維岳