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排氣過濾器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5457249

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本發(fā)明涉及排氣過濾器,特別是涉及用于除去固體成分如放射性污染的磨耗粉末的排氣過濾器。背景技術(shù) 在核設(shè)施如核能工廠和加速器中,如果使用供油式旋轉(zhuǎn)真空泵獲得真空,在操作期間生成廢油。因此無油式干真空泵被廣泛采用。然而,即使在干真空泵中,用于潤滑旋轉(zhuǎn)部分的油脂可能因放射性而變質(zhì)。JP11-210658A推薦了包括用于旋轉(zhuǎn)部件的固體潤滑軸承的真空排氣裝置。但是,即使使用該固體潤滑軸承,真空泵在旋轉(zhuǎn)部件的端部具有氣密性末梢密封(tip seal),該末梢密封被磨耗并...
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