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微納尺度靜電力開(kāi)關(guān)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5270167

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本發(fā)明公開(kāi)了一種微納尺度靜電力開(kāi)關(guān),包括襯底,包括絕緣層與背電極;源電極與漏電極,位于襯底上,沿第一方向排列;支撐電極,位于襯底上,沿第二方向排列;石墨烯層,位于支撐電極上并與其電連接;源漏電極連接層,沿第一方向延伸,與源電極和漏電極電連接。依照本發(fā)明的,采用石墨烯這種單晶薄層導(dǎo)電材料作為膜橋材料,利用電極和支撐電極之間的偏壓產(chǎn)生靜電力從而將膜橋下拉、形變之后通過(guò)金屬層將源漏電極連接起來(lái)形成開(kāi)關(guān),開(kāi)啟電壓小,不需要較大的驅(qū)動(dòng)電路,能夠縮小微納機(jī)械開(kāi)關(guān)的尺寸...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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