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一種納米級(jí)圖形化藍(lán)寶石襯底的制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5264973

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本發(fā)明屬于GaN材料的制備,尤其是一種納米尺度的圖形化藍(lán)寶石襯底的制備方法。背景技術(shù)氮化鎵(GaN)系III族-氮化物是寬禁帶半導(dǎo)體材料中最有前景的一種,主要包括GaN、AlN、InN及其三元和四元合金。由于其特有的帶隙范圍、優(yōu)良的光電性能和良好的化學(xué)穩(wěn)定性,使該材料在短波長(zhǎng)光電器件中取得了很大的進(jìn)展,特別是GaN基發(fā)光二極管(LED)已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化,并在戶外大屏幕顯示、液晶顯示器的背光照明、交通燈、汽車尾燈、等得到廣泛的應(yīng)用。同時(shí),也拉開(kāi)了第三代半導(dǎo)體材料G...
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