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技術(shù)編號：4739129

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本發(fā)明涉及超潔凈系統(tǒng)，具體涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗設(shè)備內(nèi)部的空氣調(diào)節(jié)監(jiān)測系統(tǒng)。背景技術(shù)半導(dǎo)體清洗設(shè)備對內(nèi)部環(huán)境的潔凈度要求極高，然而由于受設(shè)備自身和設(shè)備周圍環(huán)境影響，其內(nèi)部總是不可避免的存在顆粒、金屬雜質(zhì)等污染源。同時在設(shè)備運行過程中，各運動部件的運動不可避免的產(chǎn)生摩擦，在相對濕度較低的硅片加工環(huán)境中，摩擦很容易產(chǎn)生高級別的靜電荷，成為硅片表面的又一污染源。這些污染源能使硅片上的芯片電學(xué)失效，據(jù)統(tǒng)計80%的芯片報廢是由污染引起。根據(jù)潔凈區(qū)空氣潔凈度分級國際...
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