技術(shù)編號(hào)：4531871
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種從廢氣中有效地除去粉塵的滌氣器。附圖說(shuō)明圖1所示的廢氣處理系統(tǒng)包括一個(gè)與滌氣器20連接的廢氣處理裝置1。一種包含SiH4及類(lèi)似氣體的廢氣G引入到裝置1中的燃燒器3，在那里產(chǎn)生火焰4加熱氣體G，從而使它無(wú)害。生成的氣體包含一種由高密度微粒組成的粉塵，微粒的尺寸大約1μm或更小。包含粉塵顆粒的氣體隨后用從液體霧化區(qū)2的噴管5中噴灑出來(lái)冷卻劑6如水進(jìn)行冷卻，并隨后引入到滌氣器20。業(yè)已用來(lái)冷卻氣體的冷卻劑通過(guò)U型排出管7排出。滌氣器20包括一個(gè)殼體...
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