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薄膜的制造設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4457088

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本實用新型提供一種薄膜的制造設(shè)備,其能夠以良好的成品率制造對熱的尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異的薄膜。其是進(jìn)行薄膜的應(yīng)力衰減處理的薄膜的制造設(shè)備,使用從氣體噴射孔對薄膜噴出加熱氣體來以非接觸狀態(tài)輸送薄膜的浮置輸送裝置(1),在以非接觸狀態(tài)輸送薄膜的同時進(jìn)行應(yīng)力衰減處理。尤其適合于對聚酰亞胺薄膜的前驅(qū)體進(jìn)行加熱處理而得到的聚酰亞胺薄膜的應(yīng)力衰減處理。專利說明薄膜的制造設(shè)備[0001]本實用新型涉及一種進(jìn)行薄膜的應(yīng)力衰減(応力緩和)處理的薄膜的制造設(shè)備。背景技術(shù)[0002]聚...
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