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粘接卡盤裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4275555

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本發(fā)明涉及一種粘接卡盤裝置,例如在液晶顯示器(LCD)或等離 子顯示器(PDP)或可撓性顯示器等平板顯示器的制造過程中,利用于 包括粘接保持由CF玻璃或TFT玻璃等玻璃制基板或 PES(Poly-Ether-Sulphone)等塑料薄膜等構(gòu)成的合成樹脂制基板并進(jìn) 行貼合的基板貼合機(jī)的基板組裝裝置;或輸送這種基板等的絕緣體、導(dǎo) 電體或半導(dǎo)體晶片等的工件(被處理體)的基板輸送裝置等。具體地,涉及對保持板通過粘接部件粘接保持工件,并由剝離裝 置從該粘接部件強(qiáng)制剝...
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