專利名稱：粘接卡盤裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種粘接卡盤裝置，例如在液晶顯示器(LCD)或等離 子顯示器(PDP)或可撓性顯示器等平板顯示器的制造過程中，利用于: 包括粘接保持由CF玻璃或TFT玻璃等玻璃制基板或 PES(Poly-Ether-Sulphone)等塑料薄膜等構(gòu)成的合成樹脂制基板并進 行貼合的基板貼合機的基板組裝裝置;或輸送這種基板等的絕緣體、導(dǎo) 電體或半導(dǎo)體晶片等的工件(被處理體)的基板輸送裝置等。
具體地，涉及對保持板通過粘接部件粘接保持工件，并由剝離裝 置從該粘接部件強制剝離工件而與保持板隔離的粘接卡盤裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為這種粘接卡盤裝置，在上方的保持板(加壓板)設(shè)置多 個開口 ，并在這些開口內(nèi)分別具備旋轉(zhuǎn)用促動器和上下驅(qū)動用促動器， 在從各自的旋轉(zhuǎn)用促動器朝下方延伸的旋轉(zhuǎn)軸的前端安裝粘接部件， 通過上下驅(qū)動用促動器的動作在開口內(nèi)使各粘接部件下降，通過與這 些粘接部件吸引吸附而保持上方的工件(基板)，邊定位邊進行貼合， 在使粘接部件退回到加壓板內(nèi)時，相對于工件面通過旋轉(zhuǎn)用促動器扭 轉(zhuǎn)粘接部件，或者扭轉(zhuǎn)之后通過上下驅(qū)動用促動器使其退回，將粘接 部件從上工件剝離(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。
又，還有的粘接卡盤裝置，至少在上方的保持板(加壓板)設(shè)置粘 接部件(粘接片)的同時，設(shè)置多個開口，在這些開口內(nèi)，作為剝離裝 置(剝離機構(gòu))，設(shè)置用上下驅(qū)動用促動器驅(qū)動的按壓軸，通過與這些 粘接部件吸引吸附而保持上方的工件(基板)，邊定位邊進行貼合之后， 通過按壓軸的按壓動作從粘接片剝離上方的工件(例如，參照專利文獻(xiàn) 2)。
專利文獻(xiàn)1:日本專利公開第2003-273508號公報(第3-5頁，圖2、
5)
專利文獻(xiàn)2:日本專利公開第2003-283185號公報(第3-5頁，圖3-4)

發(fā)明內(nèi)容
但是，在這種以往的粘接卡盤裝置中，由于粘接部件的粘接力沒 有方向性，所以，若使得通過促動器或按壓軸等的剝離裝置從粘接部 件容易剝離工件而將粘接力設(shè)定得弱，則用剝離裝置以外的外力容易 剝離工件而不能確實地粘接保持，從而工件會落下或在進行貼合時會 發(fā)生位置偏移，存在出現(xiàn)不良產(chǎn)品的可能性的問題。
相反地，若將粘接部件的粘接力設(shè)定得強，則工件的剝離性能降
低，而不能良好地貼合工件彼此，或者在液晶的真空貼合過程中在表
面腔室部分中殘留氣泡，而存在出現(xiàn)不良產(chǎn)品的可能性的問題。
本發(fā)明中的第l發(fā)明，其目的在于，向由剝離裝置的剝離進行方 向容易剝離工件。
第2發(fā)明及第3發(fā)明，其目的在于，除第l發(fā)明的目的之外，以 簡單的結(jié)構(gòu)使粘接部件的粘接力具有方向性。
第4發(fā)明，其目的在于，除第1發(fā)明、第2發(fā)明或第3發(fā)明的目 的之外，以簡單的結(jié)構(gòu)確實地進行工件的剝離開放。
為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明中的第l發(fā)明，其特征為，配置粘 接部件，使得每單位面積的粘接力向伴隨剝離裝置的作動的剝離進行 方向增加。
在此所說的"伴隨剝離裝置的作動的剝離進行方向"是，若剝離裝 置作動，工件就從其作用點開始剝離下去，在本發(fā)明中，將此方向稱 之為剝離進行方向。
第2發(fā)明，其特征在于，在第l發(fā)明的構(gòu)成中增加了，作為使得 每單位面積的粘接力向伴隨上述剝離裝置的作動的剝離進行方向增加 的裝置，將粘接部件相對于工件的粘接面積，向工件相對上述粘接部 件的剝離進行方向增大的構(gòu)成。第3發(fā)明，其特征在于，在第l發(fā)明的構(gòu)成中增加了，作為使得 每單位面積的粘接力向伴隨上述剝離裝置的作動的剝離進行方向增加 而設(shè)定的裝置，將粘接部件相對于工件的彈性變形量，向工件相對上 述粘接部件的剝離進行方向增大的構(gòu)成。
第4發(fā)明，其特征在于，在笫1發(fā)明、第2或第3發(fā)明的構(gòu)成中 增加了，將上述粘接部件和剝離裝置作為一組，將相對于保持板每隔 適當(dāng)間隔分散配置這些多組。
本發(fā)明中的第l發(fā)明，通過向伴隨剝離裝置的作動的剝離進行方 向使得每單位面積的粘接力增加而配置粘接部件，從而伴隨剝離裝置 的作動以較小的剝離力從粘接部件開始剝離工件，其剝離極其順利地 進行，但向與該剝離進行方向不同的方向剝離時，需要比由該剝離裝 置的作動的剝離力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大的力。
因此，可以容易地向剝離裝置的剝離進行方向剝離工件。
其結(jié)果，與粘接部件的粘接力沒有方向性的以往的粘接部件相比， 可以以更小的剝離力順利地剝離工件的同時，也很難發(fā)生工件脫落等 的工序上的不良現(xiàn)象。
由此，在使用于液晶面板顯示器的基板組裝裝置時，對于氣泡向 面板內(nèi)的混入或由分隔件的變形等而發(fā)生不均勻等的不良現(xiàn)象，能夠 獲得很大的改善。
又，在粘接部件和工件之間，即使因異物的嚙入而局部粘接力下 降，也由于除剝離開始端部以外的大部分的粘接力強，所以，不會發(fā) 生剝離的連鎖而可以確實地粘接保持工件。
第2發(fā)明，除第l發(fā)明的效果以外，作為使得每單位面積的粘接 力向伴隨剝離裝置的作動的剝離進行方向增加的裝置，通過將粘接部 件相對工件的粘接面積向工件相對上述粘接部件的剝離進行方向增
大，可以設(shè)定成粘接力從工件相對粘接部件的剝離開始位置向剝離結(jié) 束位置變強。
因此，可以以簡單的結(jié)構(gòu)使粘接部件的粘接力具有方向性。 其結(jié)果，因可以簡化裝置整體的結(jié)構(gòu)，所以可以謀求制造成本的
減低化。
第3發(fā)明，除第l發(fā)明的效果以外，作為使得每單位面積的粘接 力向伴隨剝離裝置的作動的剝離進行方向增加的裝置，通過將粘接部 件相對工件的彈性變形量，向工件相對上述粘接部件的剝離進行方向 增大，可以設(shè)定成剝離力從工件相對粘接部件的剝離開始位置向剝離 結(jié)束位置變強。
因此，可以以簡單的結(jié)構(gòu)使粘接部件的粘接力具有方向性。 其結(jié)果，因可以簡化裝置整體的結(jié)構(gòu)，所以可以謀求制造成本的 減低化。
第4發(fā)明，除第1發(fā)明、第2發(fā)明或第3發(fā)明的效果外，將粘接 部件和剝離裝置作為 一組，通過將這些多組相對保持板每隔適當(dāng)間隔 分散配置，能用分散配置的粘接部件粘接保持工件的一部分的同時， 不用對工件整體施加太大的力就可以用各剝離裝置的作動剝離這些粘 接。
因此，可以以筒單的結(jié)構(gòu)確實地進行工件的剝離解放。 其結(jié)果，因可以簡略化裝置整體的結(jié)構(gòu)，所以可以謀求制造成本 的減低化。


圖l是表示本發(fā)明的粘接卡盤裝置的實施例l的縱向剖面正視圖，
(a) ~ (c)表示配備在基板貼合機時的作動工序。
圖2放大表示實施例1的一部分，(a)為縱向剖面正視圖，(b)為橫
向剖面仰視圖。
圖3是表示粘接部件的變型例的放大橫向剖面仰視圖。 圖4是表示粘接部件的變型例的放大橫向剖面仰視圖。 圖5是表示粘接部件的變型例的放大縱向剖面正視圖。 圖6是表示粘接部件的變型例的放大縱向剖面正視圖，(a)表示剝
離前的狀態(tài)，(b)表示剝離途中的狀態(tài)。
圖7是表示本發(fā)明的粘接卡盤裝置的實施例2的縱向剖面正視圖，(a) ~ (c)表示配備在基板貼合機時的作動工序。
圖8放大表示實施例2的一部分，(a)為縱向剖面正視圖，(b)為橫 向剖面仰;f見圖。
具體實施例方式
示出本發(fā)明的粘接卡盤裝置D配備在基板貼合機時的情況，該基 板貼合機，拆裝自如地保持貼合作為工件A、 B用于液晶顯示器(LCD) 或等離子顯示器(PDP)或可撓性顯示器的面板的玻璃基板或塑料薄膜 基板。
該基板貼合機，如圖l(a) ~ (c)或圖7(a) ~ (c)所示，配 置由例如金屬或陶瓷等的剛體形成的、厚度不歪曲(撓曲)變形的平 板狀的定盤構(gòu)成的上下一對保持板1、 l'，在這些上下保持板l、 l'平 行相對的平滑的保持面la、 la'上，拆裝自如地分別保持兩片基板A、 B，在由它們周圍劃分形成的密閉空間S內(nèi)達(dá)到規(guī)定的真空度后，將 上下保持板l、 1'向XY6方向(圖中的水平方向)相對地調(diào)整移動， 進行基板A、 B彼此的定位后，至少將基板A、 B中的任意一方從上 下保持板l、 l'的保持面1 a、 1 a'剝離重合，然后，破壞密閉空間S 內(nèi)的真空，通過在兩基板A、 B內(nèi)外產(chǎn)生的氣壓差將兩基板A、 B之 間加壓到纟現(xiàn)定的間隙。
若詳細(xì)地說明，如圖1 (a)或圖7 (a)的實線所示，上下保持板 1、 l'通過升降裝置(未圖示)向Z方向(圖中的上下方向)可相對移 動地被支撐，在大氣壓的環(huán)境中，在使這些上下保持板l、 l'向上下方 向離開狀態(tài)下，對各自的保持面la、 la'設(shè)置用輸送用機械手(未圖示) 輸送的基板A、 B并分別進行保持。
之后，如圖1 (a)或圖7 (a)的雙點劃線所示，通過上述升降裝 置的作動使上下保持板l、 l'接近移動，從而在兩者間劃分形成密閉空 間S。
接著，通過抽氣裝置(未圖示)的作動，從該密閉空間S抽出空 氣并達(dá)到規(guī)定的真空度時，通過水平移動裝置(未圖示)的作動，將
上下保持板1、 l'的任意一方相對另一方朝XY6方向調(diào)整移動，從而， 依次進行保持在保持板上的基板A、 B彼此的定位(alignment),即
粗定位和精定位。
完成這些定位后，如圖1 (b)或圖7(b)所示，將被保持在上 下保持板l、 1'上的基板A、 B中的任一方朝另一方移動，夾著下基板 B上的環(huán)狀粘接劑(密封材)瞬間壓接，從而將兩者之間密封并重合。
之后，如圖1 (c)或圖7 (c)所示，通過上述升降裝置的作動使 上下保持板l、 l'向互相隔離的方向移動，大致同時，使上述抽氣裝置 反作動或者用其他的機構(gòu)向密閉空間S內(nèi)供給空氣或氮氣，通過使該 密閉空間S內(nèi)的環(huán)境返回大氣壓，用在兩基板A、 B內(nèi)外產(chǎn)生的氣壓 差均勻地加壓，在封入液晶的狀態(tài)下擠壓到規(guī)定的間隙而完成貼合工 序。
本發(fā)明的粘接卡盤裝置D包括上述由剛體構(gòu)成的上下保持板1、 l'、粘接保持基板A、 B的粘接部件2、從該粘接部件2強制剝離基板 A、 B的剝離裝置3。用粘接部件2使上下基板A、 B粘接保持在上下 保持板l、 l'的保持面la、 la',通過剝離裝置3的作動，從該粘接部 件2強制剝離上下基板A、 B，與上下保持板l、 l'的保持面la、 la' 隔離。
在圖示例中表示，本發(fā)明的粘接卡盤裝置D，只對上保持板l的 保持面la向與其交叉的Z方向(上下方向)往復(fù)動自如地"&置剝離 裝置3，通過該剝離裝置3的上下作動，從粘接部件2強制剝離上基 板A，從而使其與上保持板1的保持面la隔離，并與被下保持板1' 保持的下基板A重合的情況，以下，按照圖示例進行說明。
上述粘接部件2是由例如丁基橡膠、氟橡膠、感光性樹脂、丙烯 酸類或硅類等的粘接材料構(gòu)成的粘接片，將其背面固定在上保持板1 的保持面la或后述的剝離裝置3的基板側(cè)表面。
該粘接部件2和后述的剝離裝置3，將這兩者作為一組單元化， 相對上保持板l每隔適當(dāng)間隔分散配置較理想，在圖l(a) (c)或圖 7(a) (c)所示的例中，因空間的關(guān)系，只配置了2組，但對應(yīng)于上 基板A的大小，可以按所能吊掛的數(shù)量進行配置。
而且，在上保持板l的保持面la開設(shè)有多個開口部lb，在這些 開口部lb的內(nèi)部分別向上下方向往復(fù)動自如地配設(shè)剝離裝置3。
作為該剝離裝置3的具體例，如圖l(a) (c)或圖7(a) ~ (c) 所示，將由例如不銹鋼等的金屬制可彈性變形的膜或橡膠、工程塑料 等的合成樹脂成形為薄板狀的隔膜構(gòu)成的彈性膜3a，在上保持板l的 開口部lb內(nèi)向上下方向往復(fù)動自如地支撐，并使其通過夾著該彈性膜 3a在其一次側(cè)(背后)被劃分形成的空壓室3b與在二次側(cè)被劃分形 成的密閉空間S之間的壓力差彈性變形向上下方向往復(fù)作動，或通過 促動器等的驅(qū)動源(未圖示)向上下方向往復(fù)作動。
在圖示例中，將彈性膜3a的外周部分用配備于上保持板1的開口 部lb的夾持部件lc夾住而不能脫落地固定，但是，也可以用其他的 支撐裝置進行固定，并且，在該彈性膜3a的中心部分連接設(shè)置有不能 變形的剛體部3c，但也可以如國際公開第2005/098522號小冊子所記 載的那樣，只用由沒有剛體部3c的隔膜構(gòu)成的彈性膜3a，從粘接部 件2強制剝離上基板A而與上保持板1的保持面la隔離。
若使這種彈性膜3a或驅(qū)動源向上下方向作動，則用粘接部件2 粘接保持的上基板A變形，對應(yīng)于該變形歪曲，粘接部件2彈性變形， 在其粘接力達(dá)到屈服值時，發(fā)生剝離。
因此，將上述粘接部件2配置成，使得伴隨上述剝離裝置3的作 動而相對該粘接部件2剝離上基板A方向上的每單位面積的粘接力增 加，使剝離力的強弱具有平面內(nèi)的方向性。
即，配置上述粘接部件2，使得剝離時所需的力(粘接部件2的 粘接屈服力)的整體，伴隨上述剝離裝置3的作動，在上基板A的變 形歪曲傳播的方向上的各處幾乎都增加。
如此，在本發(fā)明中，將上基板A的變形歪曲傳播的方向稱之為"剝 離進行方向"。
作為使得每單位面積的粘接力向伴隨該剝離裝置3的作動的上基 板A相對粘接部件2的剝離進行方向增加的方法，有使相對上基板A
的該粘接部件2的粘接面積向上基板A相對上述粘接部件2的剝離進 行方向增大，或者使相對上基板A的該粘接部件2的彈性變形量向工 件A相對上述粘接部件2的剝離進行方向增大等，使剝離力的強弱具 有平面內(nèi)的方向性。
以下，根據(jù)

本發(fā)明的各實施例。 實施例1
該實施例1，如圖1~圖6所示，以圍繞上述剝離裝置3的方式相 對上述上保持板1的保持面la固定粘接部件2，通過使該剝離裝置3 往上作動向上保持板1的開口部lb內(nèi)以凹狀沒入，上基板A的表面 Al抵接在該粘接部件2的粘接面2a而被粘接保持，并且，通過使剝 離裝置3往下作動朝向二次側(cè)空間(密閉空間)S突出，從該粘接部 件2的粘接面2a強制剝離上基板A的表面Al。
作為上述粘接部件2的設(shè)置例，通過將沿著上保持板1的各開口 部lb的開口緣固定的粘接部件2的形狀朝向上保持板1的剝離進行方 向改變，使在由各開口部lb內(nèi)的剝離裝置3的上下作動而進行剝離時 對上基板A的上下方向(垂直)位置變化的追從做貢獻(xiàn)的粘接部件2 的截面積、或每單位面積的粘接力增減。
圖2 (b)所示的例中，沿著以圓形開設(shè)在上保持板l的各開口部 lb的開口緣向周方向每隔適當(dāng)間隔配置固定多個粘接部件2，將這些 粘接部件2的粘接面形狀分別形成為略三角形，向從各開口部lb的開 口中心朝向開口緣的放射方向外側(cè)使該粘接部件2的截面積逐漸增大。
作為其他例，如圖3所示，配置固定沿著上保持板1的各開口部 lb的開口緣向周方向連續(xù)的環(huán)狀的粘接部件2,從其內(nèi)側(cè)部分的周方 向適當(dāng)部位向各開口部lb的開口中心形成為略山形狀或梯形狀等，向 從各開口部lb的開口中心朝向開口緣的放射方向外側(cè)使該粘接部件2 的截面積逐漸增大也可以。
這些粘接部件2的形狀，不限定于圖示的略三角形或略山形或梯 形，代替于此，也可以改變?yōu)轭愃铺菪蔚鹊男螤睢?br> 而且，如圖4所示，將上述粘接部件2以大量點狀的形式分散配 置，通過改變這些點狀粘接部件2的數(shù)量、密度、大小等，可以使在 由各開口部ib內(nèi)的剝離裝置3的上下作動而進行剝離時對上基板A 的上下方向(垂直)變位變化的追從做貢獻(xiàn)的粘接部件2的每單位面 積的粘接力逐漸增減。
而且，作為上述以外的粘接部件2的設(shè)置例，通過將沿上保持板 1的各開口部lb的開口緣固定的粘接部件2的厚度向上保持板l的剝 離進行方向改變，或者，將相對于上保持板1的保持面la的粘接部件 2的固定部位向上保持板1的剝離進行方向改變，使在由各開口部lb 內(nèi)的剝離裝置3的上下作動而進行剝離時對上基板A的上下方向(垂 直)變位變化的追從做貢獻(xiàn)的粘接部件2的彈性變形量增減。
在圖5所示的例，沿著上保持板1的各開口部lb的開口鄉(xiāng)彖向周方 向每隔適當(dāng)間隔配置固定多個粘接部件2,或者將其配置固定成向周 方向連續(xù)的環(huán)狀，使這些粘接部件2的厚度尺寸從各開口部lb的開口 中心朝向開口緣的放射方向外側(cè)逐漸增厚，并使該粘接部件2的彈性
變形量逐漸增大，由此剝離力向同方向增強。
在圖示例中，通過粘接保持板2b將該粘接部件2固定在上保持板 1的保持面la等，從而可以正確地定位內(nèi)外厚度尺寸不同的粘接部件 2，較為理想。但不使用粘接保持板2b直接固定也可以。
作為其他例，如圖6 (a)、 (b)所示，沿著上保持板l的各開口 部lb的開口緣，向周方向每隔適當(dāng)間隔配置固定多個粘接部件2，或 者將其配置固定成向周方向連續(xù)的環(huán)狀，只將這些粘接部件2的放射 方向外側(cè)部分固定在上保持板1的保持面la，使該粘接部件2的彈性 變形量從各開口部lb的開口中心朝向開口緣的放射方向外側(cè)逐漸增 大，由此，剝離力向同方向增強。
在圖示例中，沿著該粘接部件2的背面設(shè)置粘接保持板2b，通過 只將其放射方向外側(cè)部分2c的一部分固定在上保持板1的保持面la 等，粘接部件2的拉伸強度變高，從而較理想。但是，不使用粘接保 持板2b直接固定也可以。
另外，適當(dāng)組合圖2~圖6所示的設(shè)置例，也可以使得每單位面 積的粘接力向伴隨剝離裝置3的往下作動的上基板A相對于粘接部件 2的剝離進行方向(從各開口部lb的開口中心朝向開口緣的i文射方向 夕卜#)增力口。
另一方面，在與上述剝離裝置3的上基板A相對的部分連接設(shè)置 由不能變形的材料構(gòu)成的剛體部3c,通過該剝離裝置3的上下作動， 在保持板1的開口部lb內(nèi)使該剛體部3c向上下方向平行移動為佳。
在圖示例中，在通過剝離裝置3的彈性膜3a的往上作動使剛體部 3c沒入到開口部lb內(nèi)的狀態(tài)下，使上基板A抵接在上保持板1的粘 接部件2而粘接保持，并且，通過彈性膜3a的往下作動朝向二次側(cè)空 間(密閉空間)S使剛體部3c向下方突出變形，將上基板A的表面 Al向從粘接部件2的粘接面2a離開的方向按壓。
另外，將上述剛體部3c的形狀對應(yīng)于保持板1的開口部lb形成 為圓形，但是，將剛體部3c和開口部lb的形狀，還可以形成為例如 矩形或多角形等的角形或者其他形狀。
接著，說明上述粘接卡盤裝置D的作動。
首先，如圖2 (a)的實線、圖5的實線及圖6(a)所示，通過上 述的剝離裝置3的往下作動，若按壓粘接保持在粘接部件2的粘接面 2a的上基板A的表面Al,如圖2(a)的雙點劃線、圖5的雙點劃線 及圖6(b)所示，上基板A的按壓部位局部變形，對應(yīng)于該變形歪曲 粘接部件2的粘接力達(dá)到屈服值而產(chǎn)生剝離。
在該剝離時，粘接部件2被配置成，使得每單位面積的粘接力向 上基板A的剝離進行方向、即在本實施例中從各開口部lb的開口中 心朝向放射方向外側(cè)增大，所以，以較小的剝離力使上基板A的表面 Al首先從內(nèi)側(cè)開始剝離，其剝離順利地進行。
但是，即使向與該剝離裝置3的剝離進行方向不同的方向，對該 上基板A施加其他外力，也由于對粘接部件2的剝離力非常大，所以 很難進行剝離。
由此，可以通過剝離裝置3的作動從粘接部件2確實地剝離上基
板A，使這以外的方向的干擾力具有剝離的耐性，所以可以確實地防 止上基板A的剝離脫落。 實施例2
該實施例2中，如圖7~圖8所示，將上述粘接部件2的固定位 置從上保持板l的保持面la改變到剝離裝置3的前端面，同時，通過 將該剝離裝置3往下作動而使固定在其前端面的粘接部件2的粘接面 2a以與上述上保持板1的保持面la大致處于同一平面或稍-微(100 //m左右)凸出狀突出，從而上基板A的表面Al抵接在該粘接部件2 的粘接面2a而被粘接保持，而且，通過剝離裝置3往上作動，使固定 在其前端面的粘接部件2的粘接面2a以凹狀沒入到上保持板l的開口 部lb內(nèi)，從而將該粘接部件2的粘接面2a從上基板A的表面Al強 制剝離。在上述方面，該實施例2與上述圖1 ~圖5所示的實施例1 不同，這以外的構(gòu)成與圖1~圖5所示的實施例l相同。
在圖示例的情況下，在與剝離裝置3的上基板A相對的部分連接 設(shè)置剛體部3c,在該剛體部3c的前端面固定有粘接部件2。
作為該實施例2的上述粘接部件2的i殳置例，與上述實施例1同 樣，通過將該粘接部件2的形狀或粘接部件2的厚度或相對于剝離裝 置3的前端面的粘接部件2的固定部位向上保持板1的剝離進行方向 改變，使在由各開口部lb內(nèi)的剝離裝置3的上下作動而進行剝離時對 上基板A的上下方向(垂直)變位變化的追從做貢獻(xiàn)的粘接部件2的 截面積或每單位面積的粘接力或彈性變形量增減。
例如，如圖8(b)所示，沿著連接設(shè)置在剝離裝置3上的剛體部 3c的前端面的外周緣向周方向每隔適當(dāng)間隔配置固定多個粘接部件 2，將這些粘接部件2的粘接面形狀分別形成為略三角形，向從各開口 部lb的開口緣朝向開口中心的放射方向內(nèi)側(cè)使該粘接部件2的截面積 逐漸增大。
作為其他例子，雖未圖示，但是，也可以將在圖2~圖6所示的 設(shè)置例的粘接部件2的固定位置，從上保持板1的保持面la改換到剝 離裝置3的前端面，同時，使這些粘接部件2反向，向從各開口部lb
的開口緣朝向開口中心的放射方向內(nèi)側(cè)使粘接部件2的截面積逐漸增 大。
并且，將這種設(shè)置例適當(dāng)組合，也可以使得每單位面積的粘接力 向伴隨剝離裝置3的往上作動、上基板A相對于粘接部件2的剝離進 行方向(從各開口部lb的開口緣朝向開口中心的放射方向內(nèi)側(cè))增加。
若說明該實施例2的作動，通過剝離裝置3的往上作動，固定在 其前端面的粘接部件2凹陷而從上基板A的表面Al拉開，由此相對 于上基板A的粘接部位局部變形，對應(yīng)于該變形歪曲，粘接部件2的 粘接力達(dá)到屈服值而發(fā)生剝離，從而從上基板A的表面Al輕易地進 行剝離。
在該剝離時，由于粘接部件2被配置成使得每單位面積的粘接力 朝向上基板A的剝離進行方向、即在本實施例中從各開口部lb的開 口緣朝向放射方向內(nèi)側(cè)增加，因此，以較小的剝離力上基板A的表面 Al開始剝離，并且剝離順利地進行。
但是，即使向與該剝離裝置3的剝離進行方向不同的方向相對該 上基板A施加另外的外力，也因為相對粘接部件2的剝離力非常大， 所以很難進行剝離。
由此，圖7~圖8所示的實施例2也與上述實施例1相同，通過 剝離裝置3的作動確實地實現(xiàn)了從粘接部件2剝離上基板A，并可以 使其以外的方向的干擾力具有剝離的耐性，從而可以確實地防止上基 板A的剝離脫落。
另外，雖然表示了本發(fā)明的粘接卡盤裝置D配備在基板貼合機時 的情況，該基板貼合機，拆裝自如地保持貼合作為工件A、 B用于液 晶顯示器(LCD)或等離子顯示器(PDP)或可撓性顯示器的面板的玻璃 基板或塑料薄膜基板，但不限定于此，配備在該基板貼合機以外的基 板組裝裝置、輸送基板的基板輸送裝置，或者，粘接保持LCD面板 用玻璃基板以外的基板也可以。
另外，還說明了在真空中貼合兩片基板A、 B的基板貼合機，但 不限定于此，在大氣中貼合基板A、 B的基板貼合機也可以，此時，
可以獲得與上述真空貼合機同樣的作用效果。
而且，在圖示例中，將剝離裝置3只相對上保持板1的保持面la 往復(fù)動自如地設(shè)置，通過該剝離裝置3的上下作動從粘接部件2強制 剝離上基板A，但是，不限定于此，雖未圖示，也可以相對下保持板 l'的保持面la'也同樣往復(fù)動自如地設(shè)置剝離裝置，通過該剝離裝置的 上下作動從粘接部件強制剝離下基板B，而與下保持板l'的保持面la' 隔離。
權(quán)利要求
1. 一種粘接卡盤裝置，工件(A)通過粘接部件(2)粘接保持在保持板(1)，通過剝離裝置(3)從該粘接部件(2)強制剝離工件(A)而使其與保持板(1)隔離，其特征在于:配置粘接部件(2)，使得每單位面積的粘接力向伴隨上述剝離裝置(3)的作動的剝離進行方向增加。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘接卡盤裝置，其中，作為使得每單位 面積的粘接力向伴隨上述剝離裝置(3 )的作動的剝離進行方向增加的 裝置，將粘接部件(2)相對于工件(A)的粘接面積，向工件(A) 相對上述粘接部件(2)的剝離進行方向增大。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘接卡盤裝置，其中，作為使得每單位 面積的粘接力向伴隨上述剝離裝置(3 )的作動的剝離進行方向增加的 裝置，將粘接部件(2)相對于工件(A)的彈性變形量朝向工件(A) 相對上述粘接部件(2)的剝離進行方向增大。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1、 2或3所述的粘接卡盤裝置，其中，將上述粘 接部件(2)和剝離裝置(3)作為一組，相對保持板(1)每隔適當(dāng)間 隔分散配置這些的多組。
全文摘要
通過配置粘接部件(2)使得每單位面積的粘接力向伴隨剝離裝置(3)的作動的工件(A)相對粘接部件(2)的剝離進行方向增加，從而伴隨剝離裝置(3)的作動以較小的剝離力從粘接部件(2)開始剝離工件(A)，其剝離順利進行，并向與該剝離進行方向不同的方向進行剝離時，需要比由該剝離裝置(3)的作動的剝離力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大的力。因此，可以向由剝離裝置的剝離進行方向容易剝離工件。
文檔編號B65G49/06GK101379606SQ200780000138
公開日2009年3月4日 申請日期2007年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月31日
發(fā)明者大谷義和, 橫田道也 申請人:信越工程株式會社