技術(shù)編號：4179032
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種基板輸送裝置，特別是指將基板(例如玻璃托盤glasstray)由一處輸送至另一處，并且在輸送過程中提供足夠的支撐力以承托該基板，以采優(yōu)選效率及更有時效性的方法來輸送基板。背景技術(shù) 將機械自動化系統(tǒng)應(yīng)用于輸送基板上，不但可增加輸送效率，同時也可避免應(yīng)用于制作薄膜晶體管液晶顯示器(TFT LCD)的玻璃托盤受到人為污染(玻璃托盤系在無塵室中制造)。當(dāng)機械手臂將大型基板22(例如玻璃托盤)移入殼體10時，該基板22會受到殼體10中的柵狀結(jié)構(gòu)的支撐...
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