技術(shù)編號(hào)：40818527
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于尾氣處理，具體涉及一種處理六氟化鎢合成尾氣的系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)、六氟化鎢主要用作電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)氣相沉積(cvd)工藝的原材料,用它制成的wsi可用作大規(guī)模集成電路(lsi)中的配線材料,另外還可以作為半導(dǎo)體電極的原材料、氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。隨著世界電子工業(yè)的飛速發(fā)展,wf的需求量呈現(xiàn)穩(wěn)定快速增長(zhǎng)的勢(shì)頭。、目前六氟化鎢合成主要是用三氟化氮或氟氣作為氟化劑與鎢反應(yīng)生成wf，中國(guó)專利cnb公開了六氟化鎢氣體的制備方法，該方法是將三氟化氮與...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。