技術編號：40818327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于拋光設備，具體涉及對金剛石晶體拋光的設備或裝置，尤其涉及一種用于金剛石晶體的拋光設備及其拋光方法。背景技術、金剛石晶體作為重要的半導體材料，在制造過程中，經常會受到機械手等工具的撞擊，導致金剛石晶體邊緣產生應力集中，容易發(fā)生破裂。通過倒角處理，可以消除這些尖銳的邊緣，減少應力集中，從而提高金剛石晶體的機械強度和使用壽命。、由于金剛石晶體的硬度較大，在倒角過程中，打磨粒由于磨損而發(fā)生破碎，導致打磨粒韌角鈍化，強度降低，從而使打磨粒更容易形成碎屑，在后續(xù)倒角時，會劃傷金剛石晶體，在倒角...
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