本發(fā)明屬于拋光設(shè)備，具體涉及對(duì)金剛石晶體拋光的設(shè)備或裝置，尤其涉及一種用于金剛石晶體的拋光設(shè)備及其拋光方法。

背景技術(shù)：

1、金剛石晶體作為重要的半導(dǎo)體材料，在制造過(guò)程中，經(jīng)常會(huì)受到機(jī)械手等工具的撞擊，導(dǎo)致金剛石晶體邊緣產(chǎn)生應(yīng)力集中，容易發(fā)生破裂。通過(guò)倒角處理，可以消除這些尖銳的邊緣，減少應(yīng)力集中，從而提高金剛石晶體的機(jī)械強(qiáng)度和使用壽命。

2、由于金剛石晶體的硬度較大，在倒角過(guò)程中，打磨粒由于磨損而發(fā)生破碎，導(dǎo)致打磨粒韌角鈍化，強(qiáng)度降低，從而使打磨粒更容易形成碎屑，在后續(xù)倒角時(shí)，會(huì)劃傷金剛石晶體，在倒角處形成損傷層。在后續(xù)工藝中，倒角處的損傷層容易殘留雜物，在熱處理時(shí)，會(huì)將雜物附著在金剛石晶體表面。

3、相關(guān)技術(shù)中通過(guò)對(duì)金剛石晶體的倒角進(jìn)行拋光，以解決損傷層帶來(lái)的問(wèn)題。在對(duì)金剛石晶體的倒角進(jìn)行拋光時(shí)，拋光液內(nèi)的水分會(huì)逐漸蒸發(fā)，因此，需要頻繁將拋光設(shè)備停機(jī)，對(duì)拋光布重新進(jìn)行浸潤(rùn)，從而導(dǎo)致拋光液用量增加，而且每次浸潤(rùn)時(shí)，多余的拋光液會(huì)沿旋轉(zhuǎn)臺(tái)流下，造成拋光液的浪費(fèi)。

4、因此，如何減少拋光布內(nèi)拋光液的水分流失，提高拋光液的利用率是目前亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

5、需要說(shuō)明的是，本背景技術(shù)部分中公開(kāi)的以上信息僅用于理解本申請(qǐng)構(gòu)思的背景技術(shù)，因此，并不認(rèn)為上述描述構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開(kāi)實(shí)施例至少提供一種用于金剛石晶體的拋光設(shè)備及其拋光方法。

2、第一方面，本公開(kāi)實(shí)施例提供了一種用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，包括：

3、支撐架；

4、旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述支撐架上，且所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂面開(kāi)設(shè)有多個(gè)同心設(shè)置的圓環(huán)狀蓄液槽；

5、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在所述支撐架上，且用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)；

6、拋光布，其設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，且用于金剛石晶體的倒角拋光；

7、在拋光時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述圓環(huán)狀蓄液槽中的拋光液在離心力的作用下，向外飛濺，從而對(duì)圓環(huán)狀蓄液槽正對(duì)的拋光布持續(xù)浸潤(rùn)。

8、在一種可選的實(shí)施方式中，所述圓環(huán)狀蓄液槽的寬度為l；

9、待拋光的金剛石晶體的厚度為h；

10、其中，l≥1.5h；

11、在拋光時(shí)，將金剛石晶體傾斜靠近拋光布，抵持并擠壓位于任一圓環(huán)狀蓄液槽上方的拋光布，以使金剛石晶體的倒角以及對(duì)應(yīng)處的拋光布陷入到圓環(huán)狀蓄液槽中，以增加金剛石晶體的倒角與所述拋光布接觸的穩(wěn)定性。

12、在一種可選的實(shí)施方式中，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的底面設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸；

13、所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述支撐架上；

14、所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸心與所述圓環(huán)狀蓄液槽的圓心重合。

15、在一種可選的實(shí)施方式中，所述用于金剛石晶體的拋光設(shè)備還包括供液管；所述供液管設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上方；

16、在拋光之前，通過(guò)所述供液管將拋光液輸送至所述拋光布的表面，以對(duì)拋光布進(jìn)行浸潤(rùn)。

17、在一種可選的實(shí)施方式中，在拋光液對(duì)所述拋光布浸潤(rùn)完畢之后，剩余的拋光液從所述拋光布滲透并流入所述圓環(huán)狀蓄液槽中，從而減少拋光液的流失。

18、在一種可選的實(shí)施方式中，所述圓環(huán)狀蓄液槽內(nèi)設(shè)置有升降環(huán)；

19、所述升降環(huán)的尺寸與所述圓環(huán)狀蓄液槽的尺寸適配；

20、所述用于金剛石晶體的拋光設(shè)備還包括抬升件；

21、所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的側(cè)壁沿直徑方向開(kāi)設(shè)有與每個(gè)所述圓環(huán)狀蓄液槽連通的插孔；

22、所述抬升件設(shè)置在所述插孔內(nèi)，且在將所述抬升件從所述插孔內(nèi)抽出時(shí)，將每個(gè)所述圓環(huán)狀蓄液槽內(nèi)的升降環(huán)快速抬升，完成對(duì)所述拋光布上殘留物的沖洗。

23、在一種可選的實(shí)施方式中，所述抬升件包括：

24、插入桿；

25、抬升部，其設(shè)置在所述插入桿插入所述插孔的一端；

26、所述抬升部包括抬升斜面以及插入斜面；

27、在所述插入桿插入所述插孔時(shí)，所述抬升部通過(guò)所述插入斜面的導(dǎo)向依次從每個(gè)升降環(huán)的下方插入，直至抬升部插入到旋轉(zhuǎn)臺(tái)的圓心處；

28、在所述插入桿從所述插孔拔出時(shí)，所述抬升部的抬升斜面依次從內(nèi)向外將對(duì)應(yīng)圓環(huán)狀蓄液槽內(nèi)的升降環(huán)抬起，從而以波浪的形式對(duì)拋光布進(jìn)行清洗，完成對(duì)所述拋光布上殘留物的沖洗。

29、在一種可選的實(shí)施方式中，所述拋光布粘接在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂面上；

30、在粘接時(shí)，通過(guò)外力摁壓拋光布以將拋光布鼓起部分的空氣排入到圓環(huán)狀蓄液槽中。

31、在一種可選的實(shí)施方式中，所述支撐架上設(shè)置有多個(gè)輔助支撐輪；

32、多個(gè)輔助支撐輪沿所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的周向設(shè)置，且用于支撐所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)。

33、第二方面，本公開(kāi)實(shí)施例提供了一種應(yīng)用于如上述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備的拋光方法，所述拋光方法包括：

34、將拋光液輸送至拋光布上；

35、等待拋光液將拋光布浸潤(rùn)并流入圓環(huán)狀蓄液槽中；

36、通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)；

37、將金剛石晶體傾斜靠近拋光布，抵持并擠壓位于任一圓環(huán)狀蓄液槽上方的拋光布，直至金剛石晶體的倒角以及對(duì)應(yīng)處的拋光布陷入到圓環(huán)狀蓄液槽中；

38、轉(zhuǎn)動(dòng)金剛石晶體，完成拋光。

39、本發(fā)明的有益效果是，本用于金剛石晶體的拋光設(shè)備及其拋光方法通過(guò)在旋轉(zhuǎn)臺(tái)頂面設(shè)置多個(gè)同心設(shè)置的圓環(huán)狀蓄液槽，旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述圓環(huán)狀蓄液槽中的拋光液在離心力的作用下，向外飛濺，從而對(duì)圓環(huán)狀蓄液槽正對(duì)的拋光布持續(xù)浸潤(rùn)，保持拋光布中水分的充足，從而延緩拋光布中拋光液內(nèi)水分的流逝，降低出現(xiàn)結(jié)晶析出的概率，同時(shí)，提高了對(duì)拋光液的利用效率，減少了拋光液的浪費(fèi)，從而降低了拋光的成本。

40、本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書中闡述，并且，部分地從說(shuō)明書中變得顯而易見(jiàn)，或者通過(guò)實(shí)施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)在說(shuō)明書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。

41、為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，本文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。

技術(shù)特征：

1.一種用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

3.如權(quán)利要求1所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

4.如權(quán)利要求1所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

5.如權(quán)利要求4所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

6.如權(quán)利要求1所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

7.如權(quán)利要求6所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

8.如權(quán)利要求1所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

9.如權(quán)利要求1所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備，其特征在于，

10.一種應(yīng)用于如權(quán)利要求1所述的用于金剛石晶體的拋光設(shè)備的拋光方法，其特征在于，所述拋光方法包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于拋光設(shè)備領(lǐng)域，具體提供了一種用于金剛石晶體的拋光設(shè)備及其拋光方法，其中，用于金剛石晶體的拋光設(shè)備包括：支撐架；旋轉(zhuǎn)臺(tái)，其轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在支撐架上，且旋轉(zhuǎn)臺(tái)的頂面開(kāi)設(shè)有多個(gè)同心設(shè)置的圓環(huán)狀蓄液槽；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在支撐架上，且用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)；拋光布，其設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，且用于金剛石晶體的倒角拋光。通過(guò)在旋轉(zhuǎn)臺(tái)頂面設(shè)置多個(gè)同心設(shè)置的圓環(huán)狀蓄液槽，旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，圓環(huán)狀蓄液槽中的拋光液在離心力的作用下，向外飛濺，從而對(duì)圓環(huán)狀蓄液槽正對(duì)的拋光布持續(xù)浸潤(rùn)，保持拋光布中水分的充足，從而避免拋光布中拋光液出現(xiàn)結(jié)晶析出的現(xiàn)象。同時(shí)，提高了對(duì)拋光液的利用效率，減少了拋光液的浪費(fèi)，從而降低了拋光的成本。

技術(shù)研發(fā)人員：顧正偉,晏善成,奚耀華,李駿杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州中砥半導(dǎo)體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/28