技術(shù)編號：40636787
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及硅片處理，具體為一種太陽電池硅片表面臭氧處理設(shè)備。背景技術(shù)、最近幾年業(yè)界多采用臭氧發(fā)生器利用臭氧對硅片表面進行制絨處理，其處理過程為：先利用堿液對單晶硅片表面進行粗拋，將硅片在切割時產(chǎn)生的表面損傷層去除，然后將硅片進入臭氧水進行清洗再進行制絨工藝，在這種工藝中，由于硅片是先進入堿液粗拋然后直接進入臭氧水，不可避免的會在臭氧水中帶進越來也多的堿液，由于臭氧的特性，其不能和堿液共存，在堿性溶液中，臭氧的濃度會迅速變成零，不能進行有效的硅片清洗，進而影響后道的制絨效果。、因此，需要通過臭...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學習。