技術(shù)編號：40627026
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于薄膜生產(chǎn)，具體涉及一種制備高感濕能力氧化鋁薄膜的氧化工藝方法。背景技術(shù)、制備氧化鋁薄膜用于生產(chǎn)濕度傳感器，屬于阻容式濕度傳感器，此類設(shè)備具有精度高、結(jié)構(gòu)簡單、成本低、便攜性好的優(yōu)點，應(yīng)用廣泛，具體工作原理是濕度環(huán)境中水分子含量影響材料載流子遷移率和介電常數(shù)，進(jìn)而影響電阻和電容的大小，以此對應(yīng)不同的濕度值。其感濕性能受孔徑大小、孔徑深度、孔隙率、晶相結(jié)構(gòu)等因素影響。、多孔氧化鋁薄膜制備方法包括溶膠凝膠法、粉末燒結(jié)法、陽極氧化法，溶膠凝膠法得到薄膜具有高比表面積、孔徑可控的優(yōu)點，但生長...
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