技術(shù)編號：40582667
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種硅片刻蝕機(jī)的下料裝置。背景技術(shù)、刻蝕工藝是把未被抗蝕劑掩蔽的薄膜層除去，從而在薄膜上得到與抗蝕劑膜上完全相同圖形的工藝，在集成電路制造過程中，經(jīng)過掩模套準(zhǔn)、曝光和顯影，在抗蝕劑膜上復(fù)印出所需的圖形，或者用電子束直接描繪在抗蝕劑膜上產(chǎn)生圖形，然后把此圖形精確地轉(zhuǎn)移到抗蝕劑下面的氧化硅上去，制造出所需的薄層圖案，而在硅片進(jìn)行刻蝕加工之后需要下料。、申請人經(jīng)過檢索發(fā)現(xiàn)中國專利公開了“一種激光刻蝕機(jī)自動上下料機(jī)構(gòu)”，其公開號為“cnu”，該專...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。