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光學(xué)鄰近修正方法及系統(tǒng)、掩膜版、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40571261

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本發(fā)明實(shí)施例涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種光學(xué)鄰近修正方法及系統(tǒng)、掩膜版、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。背景技術(shù)、在現(xiàn)有的技術(shù)中,半導(dǎo)體都要經(jīng)過(guò)光刻流程,光刻流程就是光線通過(guò)掩膜對(duì)抗蝕劑進(jìn)行曝光,掩膜上的圖案被轉(zhuǎn)移而形成抗蝕圖案的過(guò)程。如果掩膜圖案的尺寸非常小,掩膜圖案的尺寸會(huì)接近形成抗蝕圖案的光線的波長(zhǎng),從而產(chǎn)生光學(xué)臨近效應(yīng)(opticalproximity?effect,ope),掩膜上的圖案就會(huì)在轉(zhuǎn)移時(shí)變形,而且掩膜圖案上相鄰圖案區(qū)域的光刻質(zhì)量受光學(xué)臨近效應(yīng)的影響越來(lái)越大。、一般光學(xué)臨近效應(yīng)的消除...
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