技術(shù)編號：40568381
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及熱處理，具體為一種風(fēng)機測速裝置。背景技術(shù)、退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底，退火爐使用中要用到風(fēng)機，此時就需要一種風(fēng)機測速裝置。、但是現(xiàn)有技術(shù)還存在如下問題：、首先，現(xiàn)有技術(shù)的退火爐風(fēng)機，無測速裝置，由變頻器控...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。